振动片、传感器单元及其制造方法、电子设备

    公开(公告)号:CN104880180B

    公开(公告)日:2018-05-01

    申请号:CN201510237883.2

    申请日:2011-11-15

    Abstract: 本发明提供振动片、传感器单元及其制造方法、电子设备。振动陀螺元件(11)具有基部(21)、以及从基部(21)的Y轴方向的两端部起分别延伸的一对驱动用振动臂(22a、22b)和一对检测用振动臂(23a、23b)。并且,从由基部(21)的X轴方向的两端部起分别延伸的连接臂(24a、24b)各自的末端部起,设有与驱动用振动臂(22a、22b)并行延伸的调节用振动臂(125a、125b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的末端侧具有作为加宽部的施重部(127a、127b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的主面设有用于对振动陀螺元件(11)的泄漏输出进行调节的作为膜体的调节用电极(145a、145b)。

    声波器件及其制造方法
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103825574B

    公开(公告)日:2017-06-23

    申请号:CN201310566328.5

    申请日:2013-11-14

    Abstract: 本发明涉及声波器件及其制造方法。所述声波器件包括:基板;位于基板上的压电膜;隔着所述压电膜彼此面对的下电极和上电极,所述下电极和所述上电极中的至少一个包括第一导电膜和形成在所述第一导电膜上的第二导电膜;绝缘膜,其夹在所述第一导电膜和所述第二导电膜之间,并且所述绝缘膜的弹性常数的温度系数的符号与所述压电膜的弹性常数的温度系数的符号相反;以及第三导电膜,其形成在所述绝缘膜和所述第二导电膜二者的端面上,并且使得所述第一导电膜和所述第二导电膜之间电短路。

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