公开(公告)号：CN1179535A

公开(公告)日：1998-04-22

申请号：CN97118078.4

申请日：1997-08-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 王生和弘 ,  辻村昌治 ,  上田阳一郎

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/30

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01B11/0608

Abstract: 三维测量装置,其包括在控制扫描操作的同时用光束对物体的凸凹表面进行扫描的光束扫描单元,和在扫描操作的过程中接收由凸凹表面反射的反射光束并由此测量物体凸凹表面高度信息的检测单元,其中防止了在控制光束扫描操作期因产生的噪声而引发的噪声信息作为来自检测单元的高度信息被发送。

公开(公告)号：CN1069403C

公开(公告)日：2001-08-08

申请号：CN97118078.4

申请日：1997-08-09

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 王生和弘 ,  辻村昌治 ,  上田阳一郎

IPC: G01B11/30

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01B11/0608

Abstract: 三维测量装置，其包括在控制扫描操作的同时用光束对物体的凸凹表面进行扫描的光束扫描单元，和在扫描操作的过程中接收由凸凹表面反射的反射光束并由此测量物体凸凹表面高度信息的检测单元，其中防止了在控制光束扫描操作期因产生的噪声而引发的噪声信息作为来自检测单元的高度信息被发送。