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发明公开
芯片保持器以及芯片处理方法无效

公开(公告)号：CN1835204A

公开(公告)日：2006-09-20

申请号：CN200610064830.6

申请日：2006-03-14

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 菅野恒 , 三由裕一 , 足立一繁

IPC: H01L21/683 , H01L21/00 , H01L21/304

CPC classification number: H01L21/00

Abstract: 本发明能够提高对保持在芯片保持器上的芯片所进行的洗净处理的效率。芯片保持器(10)包括保持器下板(1)和保持器上板(2)构成。在保持器下板(1)上设置有由第1圆锥孔(12)和第2圆锥孔(13)构成的第1通孔。在保持器上板(2)上设置有由第3圆锥孔(22)和第4圆锥孔(23)构成的第2通孔。在由设置在保持器下板(1)上的第1圆锥孔(12)和设置在保持器上板(2)上的第3圆锥孔(22)构成的芯片保持空间(121)上，将作为被处理物的芯片(4)保持为可动状态。

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