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公开(公告)号：CN103140951A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201080069420.5
申请日：2010-11-15
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L51/5203 , H01L51/5218 , H01L2251/308 , H01L2251/5315
Abstract: 本发明提供一种有机EL元件、显示面板以及显示装置。有机EL元件包括透明电极（109）、与透明电极（109）对向配置的反射电极（103）、以及介于透明电极（109）与反射电极（103）之间的膜厚为20nm至200nm的发光层（107）。反射电极（103）是以Al为主成分的金属膜（1031）和在该金属膜（1031）的发光层（107）侧的整个表面不隔着氧化层而层叠的Ni膜（1032）的层叠膜。而且，金属膜（1031）的膜厚为43nm以上，Ni膜（1032）的膜厚d为0nm＜d＜5nm。另外，层叠膜的发光层（107）侧表面的面内平均粗糙度Ra为0.6nm≤Ra＜2.0nm，层叠膜的发光层（107）侧表面的面内最大高低差Rmax为5nm≤Rmax＜20nm。
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公开(公告)号：CN102308671A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201080007098.3
申请日：2010-02-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L51/5088 , H01L27/3246 , H01L51/56
Abstract: 一种发光元件的制造方法，在第1步骤，在基板(1)的一个主面上形成阳极(2)；在第2步骤，至少在阳极(2)的上方形成空穴注入层(3)；在第3步骤，用保护膜(40)至少将空穴注入层(3)的上方覆盖；在第4步骤，使用湿式工艺，在保护膜(40)之上形成在一部分区域具有保护膜露出的开口(5a)的堤(5)；在第5步骤，除去保护膜(40)的从开口(5a)露出的部分，直到空穴注入层(3)的一部分露出；在第6步骤，在从开口(5a)露出的空穴注入层(3)之上形成发光层；在第7步骤，在发光层的上方形成阴极。并且，保护膜对于在第4步骤的湿式工艺所使用的液体具有耐受性。
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公开(公告)号：CN100392819C
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200410102475.8
申请日：2004-12-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/304 , B08B3/02 , B05B1/00
CPC classification number: H01L21/67051 , B05B5/00 , B05C11/08 , H01L21/02019 , H01L21/30604 , H01L21/6708 , Y10S134/902
Abstract: 本发明公开了一种流体供给喷嘴、基板处理装置及基板处理方法，流体供给喷嘴(100)包括流入流体的流体流入部(101)，蓄积流体的储液部(102)，设置在流体流入部(101)和储液部(102)之间的、具有用于边降低流速边使流体流入储液部(102)的节流孔(103a)的流速调整壁(103)，以及具有用于由施加在储液部(102)上的压力排出流体的狭缝(105)的排出部(104)。基板处理装置用这样的流体供给喷嘴构成。另外，基板处理方法包括通过以连续的一层膜状排出流体并供给到基板上来进行基板的处理的工序。因此，能使用流体供给喷嘴(100)。
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公开(公告)号：CN1638059A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN200410102475.8
申请日：2004-12-23
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/304 , B08B3/02 , B05B1/00
CPC classification number: H01L21/67051 , B05B5/00 , B05C11/08 , H01L21/02019 , H01L21/30604 , H01L21/6708 , Y10S134/902
Abstract: 本发明公开了一种流体供给喷嘴、基板处理装置及基板处理方法，流体供给喷嘴(100)包括流入流体的流体流入部(101)，蓄积流体的储液部(102)，设置在流体流入部(101)和储液部(102)之间的、具有用于边降低流速边使流体流入储液部(102)的节流孔(103a)的流速调整壁(103)，以及具有用于由施加在储液部(102)上的压力排出流体的狭缝(105)的排出部(104)。基板处理装置用这样的流体供给喷嘴构成。另外，基板处理方法包括通过以连续的一层膜状排出流体并供给到基板上来进行基板的处理的工序。因此，能使用流体供给喷嘴(100)。
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公开(公告)号：CN102308671B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201080007098.3
申请日：2010-02-09
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L51/5088 , H01L27/3246 , H01L51/56
Abstract: 一种发光元件的制造方法，在第1步骤，在基板(1)的一个主面上形成阳极(2)；在第2步骤，至少在阳极(2)的上方形成空穴注入层(3)；在第3步骤，用保护膜(40)至少将空穴注入层(3)的上方覆盖；在第4步骤，使用湿式工艺，在保护膜(40)之上形成在一部分区域具有保护膜露出的开口(5a)的堤(5)；在第5步骤，除去保护膜(40)的从开口(5a)露出的部分，直到空穴注入层(3)的一部分露出；在第6步骤，在从开口(5a)露出的空穴注入层(3)之上形成发光层；在第7步骤，在发光层的上方形成阴极。并且，保护膜对于在第4步骤的湿式工艺所使用的液体具有耐受性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1731563A
公开(公告)日：2006-02-08
申请号：CN200510089920.6
申请日：2005-08-04
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/302 , H01L21/306
CPC classification number: H05B6/802
Abstract: 将微波施加到存储在纯水容器中的纯水上，经过密封的纯水容器的顶部、其侧部以及其底部中至少一个的，由此以非接触的方式加热纯水。
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公开(公告)号：CN104081879A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201380005257.X
申请日：2013-01-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L51/5203 , H01L27/3248 , H01L27/3258 , H01L51/52 , H01L51/56 , H01L2227/323
Abstract: 一种电子装置(1)，具备：基板；形成在基板上的第1导电层(13)；由有机材料构成，形成在第1导电层(13)上，且开有使第1导电层(13)的一部分露出的开口的有机绝缘层(21)；以覆盖有机绝缘层(21)的上表面、面对有机绝缘层(21)的开口的内周面(21a)、以及从有机绝缘层(21)露出的第1导电层(13)的方式形成的金属制的第2导电层(23)；和在面对有机绝缘层(21)的开口的内周面(21a)上，仅形成在有机绝缘层(21)和第2导电层(23)之间的含有氧化物的中间层(35)。在有机绝缘层(21)的开口的底面(21b)上，第1导电层(13)和第2导电层(23)接触。
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公开(公告)号：CN1835204A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：CN200610064830.6
申请日：2006-03-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/00 , H01L21/304
CPC classification number: H01L21/00
Abstract: 本发明能够提高对保持在芯片保持器上的芯片所进行的洗净处理的效率。芯片保持器(10)包括保持器下板(1)和保持器上板(2)构成。在保持器下板(1)上设置有由第1圆锥孔(12)和第2圆锥孔(13)构成的第1通孔。在保持器上板(2)上设置有由第3圆锥孔(22)和第4圆锥孔(23)构成的第2通孔。在由设置在保持器下板(1)上的第1圆锥孔(12)和设置在保持器上板(2)上的第3圆锥孔(22)构成的芯片保持空间(121)上，将作为被处理物的芯片(4)保持为可动状态。
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公开(公告)号：CN103314462A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201280004532.1
申请日：2012-01-18
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L51/5203 , H01L27/3279 , H01L27/329 , H01L51/5088 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种有机EL显示面板和有机EL显示装置，能够用低电压进行驱动，并且能够实现优异的发光效率。具体而言，在基板（10）上依次形成第1电极（20）及辅助布线（30）、空穴注入层（40）、功能层以及第2电极（90）。所述空穴注入层（40）和所述第2电极（90）分别连续地形成在所述第1电极（20）的上方以及所述辅助布线（30）的上方。所述第2电极（90）和所述辅助布线（30）经由所述空穴注入层（40）而电连接。空穴注入层（40）构成为包含氧化钨，且形成为厚度为2nm以上，使得在其电子态中，在比价电子带最低的结合能低1.8～3.6eV的结合能区域内具有占有能级。
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公开(公告)号：CN103283054A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201180064123.6
申请日：2011-01-21
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L51/52 , H01L51/5088 , H01L51/56 , H01L2251/55
Abstract: 本发明提供能耐受有机EL显示面板的量产工艺，并且由于优异的空穴注入效率而能期待实现低电压驱动且高发光效率的有机EL元件。具体地讲，在基板（10）的一面依次层叠阳极（2）、空穴注入层（4）、缓冲层（6A）、发光层（6B）、阴极（8），构成有机EL元件（1）。空穴注入层（4）为以规定的成膜条件成膜的膜厚2nm以上的氧化钨层，并且，在其电子态中，在比价电子带中最低的结合能低1.8～3.6eV的结合能的范围内存在占有能级。由此，降低阳极（2）与空穴注入层（4）之间、以及空穴注入层（4）与缓冲层（6A）之间的空穴注入势垒。
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