形状测定装置
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102362143B

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201080012975.6

    申请日:2010-02-15

    Inventor: 藤本章弘

    CPC classification number: G01B5/012 G01B5/20

    Abstract: 对工件(W)的表面形状进行测定的形状测定装置(100)具备:探测器(3);对探测器(3)进行轴支承的探测器支承轴(25);以及被安装探测器支承轴(25),使探测器(3)与工件(W)表面的测定位置接触,并且使工件(W)与探测器(3)相对移动的探测器驱动装置(2)。在工件(W)表面的形状测定中,使探测器(3)的切割面(32)与工件(W)表面的和包含测定位置的面相交叉的面对置,并且使球体(31)的表面与工件(W)的测定值接触来进行测定。

    形状测定装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102362143A

    公开(公告)日:2012-02-22

    申请号:CN201080012975.6

    申请日:2010-02-15

    Inventor: 藤本章弘

    CPC classification number: G01B5/012 G01B5/20

    Abstract: 对工件(W)的表面形状进行测定的形状测定装置(100)具备:探测器(3);对探测器(3)进行轴支承的探测器支承轴(25);以及被安装探测器支承轴(25),使探测器(3)与工件(W)表面的测定位置接触,并且使工件(W)与探测器(3)相对移动的探测器驱动装置(2)。在工件(W)表面的形状测定中,使探测器(3)的切割面(32)与工件(W)表面的和包含测定位置的面相交叉的面对置,并且使球体(31)的表面与工件(W)的测定值接触来进行测定。

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