表面纹理测量设备、其控制器和用于控制其的方法

    公开(公告)号:CN103308020B

    公开(公告)日:2017-07-14

    申请号:CN201310140513.8

    申请日:2013-03-08

    CPC classification number: G01B5/28 G01B21/042 G01B21/30

    Abstract: 一种能解决用于每个完全显示量程的误差的表面纹理测量设备,一种用于该表面纹理测量设备的控制器,以及一种用于控制该表面纹理测量设备的方法,其中包括选择任一显示量程作为参考量程,并定义用于每个显示量程的校准测量值;替换所述测量值而依次将校准测量值输入到对应于参考量程的量程放大器,以获得参考显示值rDATAi;将校准测量值输入到对应于每个显示量程的量程放大器,然后获得AD转换值ADi和显示值DATAi;计算增益误差率ki=rDATAi/DATAi、显示分辨率DIVi=DATAi/ADi、和已校正显示分辨率cDIVi=DIVi×ki;以及显示已校正显示值cDIVi=DIVi×ki。

    表面性状测量装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108931225B

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN201810510846.8

    申请日:2018-05-24

    Abstract: 提供一种表面性状测量装置,其中,更换测量器容易且安全。能够通过将测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器来更换测量器。测量器包括支架,并且支架包括用于将信号传送到测量器和从测量器接收信号以及对测量器给电的第一连接器。驱动机构部包括支撑框架,支架可拆卸地安装到支撑框架,并且支撑框架包括电连接到第一连接器的第二连接器。在第一连接器与第二连接器连接的状态下,信号在第一连接器与第二连接器之间传送和接收,第二连接器对第一连接器给电。第一连接器和第二连接器能够热插拔。即,当测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器时,测量器和驱动机构部能够在通电的情况下被插入和移除。

    测量机和测量机用的信号处理设备

    公开(公告)号:CN107040258A

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201610864613.9

    申请日:2016-09-29

    Inventor: 金松敏裕

    CPC classification number: H03M1/164 H03M1/14 H03M1/126 G01B7/28 G01D3/024

    Abstract: 提供一种测量机和测量机用的信号处理设备,其可以进行动态范围宽且分辨率高的测量。第一模数(AD)转换器将传感器信号AD转换成上位数字信号。第一数模(DA)转换器将上位数字信号DA转换成上位模拟信号。第一合成单元通过从传感器信号中减去上位模拟信号来生成下位模拟信号。放大器通过放大下位模拟信号来生成放大下位模拟信号。第二AD转换器将放大下位模拟信号AD转换成下位数字信号。第二合成单元将被视为上位侧的数位的上位数字信号与被视为下位侧的数位的下位数字信号进行合成。

    一维测量机和记录介质
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111521090A

    公开(公告)日:2020-08-11

    申请号:CN202010079659.6

    申请日:2020-02-04

    Abstract: 本发明提供一种一维测量机和记录介质。实现了二维坐标测量时的作业性的提高。一维测量机通过针对测量对象物的各测量要素测量一维坐标,并在使测量对象物沿规定方向旋转规定角度后,针对旋转后的测量对象物的各测量要素测量一维坐标,由此实现测量对象物的多个测量要素中的各测量要素的二维坐标的测量,其特征在于,具备:显示部;显示控制单元,基于第一输入信息使显示部显示测量对象物内的多个测量要素中的各测量要素的大致配置和测量顺序,基于第二输入信息使显示部显示以维持各测量要素的位置关系的状态将配置整体沿规定方向旋转规定角度后的多个测量要素中的各测量要素的配置和测量顺序;以及输入部,受理第一输入信息和第二输入信息的输入。

    表面性状测量装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108931225A

    公开(公告)日:2018-12-04

    申请号:CN201810510846.8

    申请日:2018-05-24

    Abstract: 提供一种表面性状测量装置,其中,更换测量器容易且安全。能够通过将测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器来更换测量器。测量器包括支架,并且支架包括用于将信号传送到测量器和从测量器接收信号以及对测量器给电的第一连接器。驱动机构部包括支撑框架,支架可拆卸地安装到支撑框架,并且支撑框架包括电连接到第一连接器的第二连接器。在第一连接器与第二连接器连接的状态下,信号在第一连接器与第二连接器之间传送和接收,第二连接器对第一连接器给电。第一连接器和第二连接器能够热插拔。即,当测量器安装到驱动机构部和从驱动机构部拆卸测量器时,测量器和驱动机构部能够在通电的情况下被插入和移除。

    驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法

    公开(公告)号:CN108733096A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810351016.5

    申请日:2018-04-18

    Abstract: 提供一种驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法,能够根据载置于台上的对象物的重量等来实现恰当的驱动控制。通过空气轴承使台上浮,测定通过空气轴承处于上浮的状态的台的高度来作为第一高度。将工件载置于台,在载置有工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度。计算第一高度与第二高度之差来作为下沉量,根据下沉量来计算工件的重量。根据计算出的所述工件重量来决定台的旋转驱动或者水平移动的上限速度。以使台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。

    检测器探测装置以及测量机
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118731776A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410358940.1

    申请日:2024-03-27

    Abstract: 检测器探测装置具备:探测电路(53),经由测量机的连接器(34),从与连接器(34)连接的检测器(25)被输入检测信号(Vd);以及判定部(622),判定检测器(25)针对连接器(34)的连接有无,探测电路(53)具有:第一接地(GND1),具有比检测器(25)的基准电位低的第一电位;以及比较器(533),在与第一接地(GND1)电连接的同时,从连接器(34)被输入检测信号(Vd),并比较输入电压(Vc)和给定的阈值电压(Vth),判定部(622)基于从比较器(533)输出的二值化信号(Vb),判定检测器(25)针对连接器(34)的连接有无。

    一维测量机和记录介质
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111521090B

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202010079659.6

    申请日:2020-02-04

    Abstract: 本发明提供一种一维测量机和记录介质。实现了二维坐标测量时的作业性的提高。一维测量机通过针对测量对象物的各测量要素测量一维坐标,并在使测量对象物沿规定方向旋转规定角度后,针对旋转后的测量对象物的各测量要素测量一维坐标,由此实现测量对象物的多个测量要素中的各测量要素的二维坐标的测量,其特征在于,具备:显示部;显示控制单元,基于第一输入信息使显示部显示测量对象物内的多个测量要素中的各测量要素的大致配置和测量顺序,基于第二输入信息使显示部显示以维持各测量要素的位置关系的状态将配置整体沿规定方向旋转规定角度后的多个测量要素中的各测量要素的配置和测量顺序;以及输入部,受理第一输入信息和第二输入信息的输入。

    形状测定装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110806190B

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN201910720647.4

    申请日:2019-08-06

    Inventor: 金松敏裕

    Abstract: 本发明提供一种形状测定装置。在具备用于检测器的定位的电动进给机构的形状测定装置中,能够简化线缆类的引绕,实现检测器的平滑的移动。本发明的一个方式的形状测定装置具备具有检测对象物的表面的位置的检测器的形状测定机和使形状测定机沿轴向移动的进给机构。进给机构具有以能够绕轴旋转的方式设置的驱动轴、以从与驱动轴的轴线正交的方向夹持驱动轴的方式设置且能够在摩擦接触状态与分离状态之间切换的牵引螺母部以及将牵引螺母部与形状测定机进行连结的支架,其中,该摩擦接触状态是牵引螺母部与驱动轴摩擦接触的状态,该分离状态是牵引螺母部从驱动轴分离的状态。在支架设置用于使驱动轴旋转且具有相对于轴线倾斜的旋转轴的电动机。

    驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法

    公开(公告)号:CN108733096B

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN201810351016.5

    申请日:2018-04-18

    Abstract: 提供一种驱动台装置的控制方法及形状测定装置的控制方法,能够根据载置于台上的对象物的重量等来实现恰当的驱动控制。通过空气轴承使台上浮,测定通过空气轴承处于上浮的状态的台的高度来作为第一高度。将工件载置于台,在载置有工件的状态下测定所述台的高度来作为第二高度。计算第一高度与第二高度之差来作为下沉量,根据下沉量来计算工件的重量。根据计算出的所述工件重量来决定台的旋转驱动或者水平移动的上限速度。以使台的旋转驱动或者水平移动的速度不超过所述上限速度的方式进行控制。

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