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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1206511C
公开(公告)日：2005-06-15
申请号：CN99124887.2
申请日：1999-11-17
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 鸣海达也
CPC classification number: G01B9/02012 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02068 , G01B9/02072 , G01B9/02082 , G01B9/0209
Abstract: 提供了高精度快速初步与主要测量的干涉仪和方法。激光与白光连续导入同一个干涉仪室。激光从激光源导入，利用CCD与个人机检测以基准镜作为基准的干涉条纹。把干涉条纹置成预置值，调节工件位置。然后导入白光，移动直角移动架，检测以基准镜作为基准的干涉条纹，执行工件的初步测量。再导入激光，检测以基准镜作为基准的干涉条纹，作工件的主要测量。
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公开(公告)号：CN107528210A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710450281.4
申请日：2017-06-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明公开了激光调节方法和激光源装置。该激光调节方法包括第一调节步骤和第二调节步骤。在第一调节步骤中，使用检测二次谐波光的光检测器检测二次谐波光的光强度和波长，并调节第一温度调节器，以调节Nd:YVO4晶体和KTP晶体的温度，使得检测的二次谐波光的波长接近所需波长，并且二次谐波光的光强度至少达到预定值。在第一调节步骤之后的第二调节步骤中，使用第二温度调节器调节校准器的温度，使得检测的二次谐波光的波长接近所需波长，并且二次谐波光的光强度至少达到预定值。
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公开(公告)号：CN108955450A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810476288.8
申请日：2018-05-17
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B5/00
Abstract: 本发明涉及一种阶梯规(1)。该阶梯规(1)是具有基准测量面(113)的量块(11)与设于一对量块(11)之间且将一对量块(11)之间的距离维持为规定间隔的间隔块(12)沿着一个方向交替地配置的结构，其中，量块(11)以及间隔块(12)的线膨胀系数小于0.03×10‑6(1/K)，量块(11)以及间隔块(12)具有沿着一个方向贯通的贯通孔(114、122)，阶梯规(1)包括贯穿各贯通孔(114、122)的拉杆(13)以及分别固定于拉杆(13)的两端部的沉头螺钉(14)，拉杆(13)由线膨胀系数小于0.5×10‑6(1/K)的材料形成。
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公开(公告)号：CN107528210B
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN201710450281.4
申请日：2017-06-15
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明公开了激光调节方法和激光源装置。该激光调节方法包括第一调节步骤和第二调节步骤。在第一调节步骤中，使用检测二次谐波光的光检测器检测二次谐波光的光强度和波长，并调节第一温度调节器，以调节Nd:YVO4晶体和KTP晶体的温度，使得检测的二次谐波光的波长接近所需波长，并且二次谐波光的光强度至少达到预定值。在第一调节步骤之后的第二调节步骤中，使用第二温度调节器调节校准器的温度，使得检测的二次谐波光的波长接近所需波长，并且二次谐波光的光强度至少达到预定值。
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公开(公告)号：CN1254088A
公开(公告)日：2000-05-24
申请号：CN99124887.2
申请日：1999-11-17
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 鸣海达也
IPC: G01B9/02
CPC classification number: G01B9/02012 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02068 , G01B9/02072 , G01B9/02082 , G01B9/0209
Abstract: 提供了高精度快速初步与主要测量的干涉仪和方法。激光与白光连续导入同一个干涉仪室。激光从激光源导入,利用CCD与个人机检测以基准镜作为基准的干涉条纹。把干涉条纹置成预置值,调节工件位置。然后导入白光,移动直角移动架,检测以基准镜作为基准的干涉条纹,执行工件的初步测量。再导入激光,检测以基准镜作为基准的干涉条纹,作工件的主要测量。
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