公开(公告)号：CN118679551A

公开(公告)日：2024-09-20

申请号：CN202380021229.0

申请日：2023-02-02

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 牛岛干雄 ,  三石创 ,  前原义弘 ,  千叶智弘

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68 ,  H01L21/683

Abstract: 在本发明的第一方式中，提供一种基板修正装置，具备：获取部，获取基于在外部测量出的基板上的多个对准标记的位置信息的第一信息；工作台，保持基板；修正部，修正保持于工作台的基板与同基板接合的其它基板之间的位置偏移；以及控制部，基于第一信息控制修正部。

公开(公告)号：CN115244650A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202180019351.5

申请日：2021-03-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 前田荣裕 ,  下田敏正 ,  三石创 ,  森博史 ,  高畑贵匠 ,  吉桥正博 ,  塩见隆 ,  前原义弘

IPC: H01L21/02

Abstract: 控制对利用基板贴合装置相互贴合的两个基板间供给的气体的供给条件的控制装置基于针对基板、在贴合基板前所贴合的其他基板以及基板贴合装置中的至少一个测量出的测量结果来控制供给条件。

公开(公告)号：CN112424908A

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN201980045550.6

申请日：2019-07-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 前原义弘 ,  釜下敦 ,  三石创 ,  福田稔

IPC: H01L21/02 ,  B23K20/00 ,  H01L21/683 ,  H01L21/822 ,  H01L25/16 ,  H01L27/00 ,  H01L27/04 ,  H01L27/146

Abstract: 本发明的接合方法包括：第一接合阶段，通过解除第一基板的保持接合第一基板和第二基板从而形成第一层叠体；以及第二接合阶段，通过将已接合的第一基板以及第二基板中的被薄化的一方的基板和第三基板接合从而形成第二层叠体，在第一基板被薄化的情况下，在第二接合阶段解除第三基板的保持，在第二基板被薄化的情况下，在第二接合阶段解除第一层叠体的保持。