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公开(公告)号：CN102712436B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201080060044.3
申请日：2010-12-28
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B65H75/14 , H01L21/673 , B65H18/02
CPC classification number: H01L21/67126 , B65H75/28 , B65H75/285 , B65H2405/421 , B65H2601/25 , H01L21/67363
Abstract: 基板盒，包括：轴部，卷绕有片状基板，该片状基板具有经电路生成处理后的电路区域；以及罩部，用以收容卷绕于该轴部的状态的基板；轴部，具有保持基板的开始卷绕的一端部中与电路区域不同的区域的保持部。
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公开(公告)号：CN105632978B
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201610122229.1
申请日：2011-04-11
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , G02F1/13 , G02F1/1333 , H01L51/56
Abstract: 基板处理装置及基板处理方法，具备：基板供应部，在使形成为带状的基板的短边方向竖立的状态下供应基板；基板处理部，具有搬送部及多个处理部，该搬送部，将从该基板供应部供应的基板在竖立状态下搬送，该多个处理部，是沿着该搬送部的基板的搬送路径配置，对竖立状态的基板的被处理面进行处理；以及基板回收部，将在该基板处理部进行处理后的基板在竖立状态下回收。
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公开(公告)号：CN102835189A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201180018300.7
申请日：2011-04-11
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H05B33/10 , B65H23/038 , H01L51/50
CPC classification number: B65H23/32 , B65H2301/517
Abstract: 基板处理装置，具备：基板供应部，在使形成为带状的基板的短边方向竖立的状态下供应基板；基板处理部，具有搬送部及多个处理部，该搬送部，将从该基板供应部供应的基板在竖立状态下搬送，该多个处理部，是沿着该搬送部的基板的搬送路径配置，对竖立状态的基板的被处理面进行处理；以及基板回收部，将在该基板处理部进行处理后的基板在竖立状态下回收。
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公开(公告)号：CN105632978A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610122229.1
申请日：2011-04-11
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , G02F1/13 , G02F1/1333 , H01L51/56
CPC classification number: B65H23/32 , B65H2301/517 , H01L21/67 , G02F1/1303 , G02F1/1333 , H01L21/67011 , H01L21/677 , H01L51/56
Abstract: 基板处理装置及基板处理方法，具备：基板供应部，在使形成为带状的基板的短边方向竖立的状态下供应基板；基板处理部，具有搬送部及多个处理部，该搬送部，将从该基板供应部供应的基板在竖立状态下搬送，该多个处理部，是沿着该搬送部的基板的搬送路径配置，对竖立状态的基板的被处理面进行处理；以及基板回收部，将在该基板处理部进行处理后的基板在竖立状态下回收。
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公开(公告)号：CN103262209B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201180059872.X
申请日：2011-12-14
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67775 , H01L21/67721 , H01L21/67736 , H01L21/67745
Abstract: 本发明的基板处理系统，具备：多个基板收容装置，具有收容基板的收容室；多个基板处理装置，具有连接于每个基板收容装置的连接部，在基板收容装置连接于连接部的状态下对基板进行处理；引导装置，引导多个基板收容装置分别与每个基板处理装置连接；以及控制装置，控制引导装置以使多个基板收容装置分别与每个基板处理装置以既定顺序连接。
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公开(公告)号：CN102844093A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201180017516.1
申请日：2011-04-04
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B01D53/04 , H01L21/027
CPC classification number: B01D53/0407 , B01D2257/406 , B01D2257/70 , B01D2258/0216
Abstract: 过滤器装置，具备：过滤器箱，具备保持过滤器的框架，以及设于框架的侧面的至少一部分、往框架的端面侧且变化至框架外侧的形状变化部；以及收容部，为收容过滤器箱；盒体具有卡合于框架的形状变化部而定位框架的定位块与按压框架的端面的分隔板。能将框架的设置以容易定位的方式进行。
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公开(公告)号：CN102835189B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201180018300.7
申请日：2011-04-11
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H05B33/10 , B65H23/038 , H01L51/50
CPC classification number: B65H23/32 , B65H2301/517
Abstract: 基板处理装置，具备：基板供应部，在使形成为带状的基板的短边方向竖立的状态下供应基板；基板处理部，具有搬送部及多个处理部，该搬送部，将从该基板供应部供应的基板在竖立状态下搬送，该多个处理部，是沿着该搬送部的基板的搬送路径配置，对竖立状态的基板的被处理面进行处理；以及基板回收部，将在该基板处理部进行处理后的基板在竖立状态下回收。
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公开(公告)号：CN103262209A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180059872.X
申请日：2011-12-14
Applicant: 株式会社尼康
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/67775 , H01L21/67721 , H01L21/67736 , H01L21/67745
Abstract: 本发明的基板处理系统，具备：多个基板收容装置，具有收容基板的收容室；多个基板处理装置，具有连接于每个基板收容装置的连接部，在基板收容装置连接于连接部的状态下对基板进行处理；引导装置，引导多个基板收容装置分别与每个基板处理装置连接；以及控制装置，控制引导装置以使多个基板收容装置分别与每个基板处理装置以既定顺序连接。
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公开(公告)号：CN102821829A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201180016872.1
申请日：2011-04-04
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B01D53/04 , H01L21/027
CPC classification number: B01D53/0415 , B01D2258/0216
Abstract: 保持过滤器的过滤器箱，具备：保持过滤器的框架；以及设于框架的把手部；具有形状变化部，其设于框架的侧面的至少一部分，从框架的两个端面中一端面侧往另一端面侧且变化至该框架外侧。能将过滤器的设置以有效率且容易定位的方式进行。
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公开(公告)号：CN102821828A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201180016866.6
申请日：2011-04-04
Applicant: 株式会社尼康
IPC: B01D53/04 , H01L21/027
CPC classification number: B01D53/0415 , B01D2253/102 , B01D2253/206 , B01D2257/406 , B01D2258/0216
Abstract: 过滤器保持装置，具备：保持第1、第2过滤器的第1、第2框架；以及设于第1、第2框架的第1、第2把手部；具有第1、第2形状变化部，其形成于第1、第2框架的侧面的至少一部分，从第1、第2框架的一端面往另一端面且变化至第1、第2框架外侧，第1把手部对第1框架的位置关系与第2把手部对第2框架的位置关系是相异。能正确地进行过滤器的更换。
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