公开(公告)号：CN104271468A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380024674.9

申请日：2013-05-10

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 神林敬 ,  铃木瑛子 ,  安住美菜子

IPC: B65D85/48 ,  B65D19/44 ,  B65D85/86 ,  G03F1/66 ,  H01L21/673

CPC classification number: B65D19/42 ,  B65D19/0073 ,  B65D19/44 ,  B65D2519/00273 ,  B65D2519/00293 ,  B65D2519/00323 ,  B65D2519/00338 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67724

Abstract: 基板箱(1)，其用于将对角尺寸超过2m的大型基板收容在内部并搬运已收容的基板。基板箱(1)，具有：下部箱单元(20)，在上面侧设有将基板的前后左右的缘部支承的基板支承部，在下面侧设有移动用脚轮(30)；以及上部箱单元(10)，从上方覆盖基板支承部所支承的基板并安装。脚轮(30)安装在框状区域，所述框状区域收容在内部的基板(2)的外形即第1四角形的内侧，且为将根据下部箱单元(20)的外形算出的前后方向的贝色点及左右方向的贝色点分别连结而形成的第2四角形的外侧。能以与基板尺寸对应的小型且简易的结构使收容的基板稳定地移动。

公开(公告)号：CN118401891A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202280083216.1

申请日：2022-10-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 泷优介 ,  大谷昇 ,  坂间太郎 ,  神林敬

IPC: G03F1/66 ,  H01L21/673

Abstract: 本发明的目的在于抑制在掩模/坯料基板的输送中因掩模/坯料基板与基板保持工具之间的摩擦而从基板保持工具的表面产生的磨耗粉(粉尘)。一种基板保持工具，该基板保持工具设置于收容基板的基板收容箱，与上述基板接触来保持上述基板，上述基板在1个侧面具有2个倒角面，其中，上述基板保持工具如下构成，具有：第1保持面，该第1保持面与上述2个倒角面中的第1倒角面的一部分接触来保持上述基板；和第2保持面，该第2保持面与上述2个倒角面中的第2倒角面的一部分接触来保持上述基板，使上述第1保持面与上述第1倒角面所具有的2个棱线部中的1个棱线部接触，使上述第2保持面与上述第2倒角面所具有的2个棱线部中的1个棱线部接触，由此保持上述基板。

公开(公告)号：CN104271468B

公开(公告)日：2018-01-19

申请号：CN201380024674.9

申请日：2013-05-10

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 神林敬 ,  铃木瑛子 ,  安住美菜子

IPC: B65D85/48 ,  B65D19/44 ,  B65D85/86 ,  G03F1/66 ,  H01L21/673

CPC classification number: B65D19/42 ,  B65D19/0073 ,  B65D19/44 ,  B65D2519/00273 ,  B65D2519/00293 ,  B65D2519/00323 ,  B65D2519/00338 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67724

Abstract: 基板箱(1)，其用于将对角尺寸超过2m的大型基板收容在内部并搬运已收容的基板。基板箱(1)，具有：下部箱单元(20)，在上面侧设有将基板的前后左右的缘部支承的基板支承部，在下面侧设有移动用脚轮(30)；以及上部箱单元(10)，从上方覆盖基板支承部所支承的基板并安装。脚轮(30)安装在框状区域，所述框状区域收容在内部的基板(2)的外形即第1四角形的内侧，且为将根据下部箱单元(20)的外形算出的前后方向的贝色点及左右方向的贝色点分别连结而形成的第2四角形的外侧。能以与基板尺寸对应的小型且简易的结构使收容的基板稳定地移动。