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公开(公告)号：CN103135365A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201310061254.X
申请日：2010-12-21
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 泷优介
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70341 , G03F7/7095
Abstract: 本发明提供一种液浸构件、液浸构件的制造方法、曝光装置、及元件制造方法，该液浸构件(6)，是以液体(LQ)充满照射于物体的曝光用光(EL)的光路(K)的方式在与前述物体之间保持液体(LQ)以形成液浸空间(LS)。液浸构件(6)，于与液体(LQ)接触的区域的至少一部分形成有碳为主成分的非晶碳膜。通过本发明，能够抑制曝光不良的产生，从而能抑制不良元件的产生及生产性的降低的问题。
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公开(公告)号：CN102652349A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201080056237.1
申请日：2010-12-21
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 泷优介
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70341 , G03F7/7095
Abstract: 液浸构件(6)，是以液体(LQ)充满照射于物体的曝光用光(EL)的光路(K)的方式在与前述物体之间保持液体(LQ)以形成液浸空间(LS)。液浸构件(6)，于与液体(LQ)接触的区域的至少一部分形成有非晶碳膜。
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公开(公告)号：CN102884221B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201180023017.3
申请日：2011-05-06
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 泷优介
CPC classification number: C23C14/0605 , C03C17/22 , C03C2217/29 , C23C14/325 , C23C14/548 , G02B7/02 , G03B17/14 , H01B1/22 , H01B1/24 , Y10T428/24025
Abstract: 本发明的导电性滑动膜（50）是施加于相对滑动的部件（60）的表面的被膜。导电性滑动膜（50）是掺杂了金属元素的,电阻率在102～10-4[Ωcm]的范围，表面硬度在10～30[GPa]的范围的掺金属四面体无定形碳。导电性滑动膜具备高耐磨性和良好的滑动性，适于照相机用安装部件。
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公开(公告)号：CN102884221A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201180023017.3
申请日：2011-05-06
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 泷优介
CPC classification number: C23C14/0605 , C03C17/22 , C03C2217/29 , C23C14/325 , C23C14/548 , G02B7/02 , G03B17/14 , H01B1/22 , H01B1/24 , Y10T428/24025
Abstract: 本发明的导电性滑动膜（50）是施加于相对滑动的部件（60）的表面的被膜。导电性滑动膜（50）是掺杂了金属元素的,电阻率在102～10-4[Ωcm]的范围，表面硬度在10～30[GPa]的范围的掺金属四面体无定形碳。导电性滑动膜具备高耐磨性和良好的滑动性，适于照相机用安装部件。
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公开(公告)号：CN118401891A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202280083216.1
申请日：2022-10-28
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F1/66 , H01L21/673
Abstract: 本发明的目的在于抑制在掩模/坯料基板的输送中因掩模/坯料基板与基板保持工具之间的摩擦而从基板保持工具的表面产生的磨耗粉(粉尘)。一种基板保持工具，该基板保持工具设置于收容基板的基板收容箱，与上述基板接触来保持上述基板，上述基板在1个侧面具有2个倒角面，其中，上述基板保持工具如下构成，具有：第1保持面，该第1保持面与上述2个倒角面中的第1倒角面的一部分接触来保持上述基板；和第2保持面，该第2保持面与上述2个倒角面中的第2倒角面的一部分接触来保持上述基板，使上述第1保持面与上述第1倒角面所具有的2个棱线部中的1个棱线部接触，使上述第2保持面与上述第2倒角面所具有的2个棱线部中的1个棱线部接触，由此保持上述基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116830035A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202280014132.2
申请日：2022-04-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: G03F1/44
Abstract: 本发明涉及相移掩模(100、200)，其具有基材(10)、第1半透过层(20)和第2半透过层(20)、以及遮光层(30)，在上述基材的表面形成有测量标记，该测量标记具有下述区域沿着与上述表面平行的排列方向相邻地设置的图案：配置有第1半透过层的第1区域(A1)；上述基材表面露出的第2区域(B1)；配置有上述遮光层的第3区域(C)；配置有第2半透过层的第4区域(A2)；以及上述基材表面露出的第5区域(B2)。
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公开(公告)号：CN104919078A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201480004940.6
申请日：2014-01-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: C23C14/06
CPC classification number: G03F7/2041 , C04B35/52 , G03F7/11 , G03F7/70341 , Y10T428/24322 , Y10T428/265 , Y10T428/31678 , Y10T442/10
Abstract: 一种施加于基材表面的功能性被膜，包含掺杂有Ti的四面体非晶碳的膜(ta-C:Ti膜)。
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公开(公告)号：CN104919078B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201480004940.6
申请日：2014-01-22
Applicant: 株式会社尼康
IPC: C23C14/06
CPC classification number: G03F7/2041 , C04B35/52 , G03F7/11 , G03F7/70341 , Y10T428/24322 , Y10T428/265 , Y10T428/31678 , Y10T442/10
Abstract: 一种施加于基材表面的功能性被膜，包含掺杂有Ti的四面体非晶碳的膜(ta‑C:Ti膜)。
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公开(公告)号：CN103797151B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201280044362.X
申请日：2012-09-13
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03B17/14 , C23C14/0641 , C23C14/205 , C23C14/345 , Y10T428/2495
Abstract: 本发明涉及复合塑料部件及其制造方法。复合塑料部件包含在塑料基材上层叠的由多个铬层构成的第一层叠体（102a）；和在第一层叠体上层叠的由多个氮化铬层构成的第二层叠体。第一层叠体以及第二层叠体是在层叠方向交替地层叠了与上下相接的层相比硬度相对较低的层和硬度相对较高的层而成的部件，在第二层叠体中，硬度相对较高的氮化铬层的膜厚是硬度相对较低的层的膜厚的40％以下。复合塑料部件具备耐磨性较高、滑动性良好、具有导电性以及漂亮外观的层叠体。
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公开(公告)号：CN103797151A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201280044362.X
申请日：2012-09-13
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G03B17/14 , C23C14/0641 , C23C14/205 , C23C14/345 , Y10T428/2495
Abstract: 本发明涉及复合塑料部件及其制造方法。复合塑料部件包含在塑料基材上层叠的由多个铬层构成的第一层叠体（102a）；和在第一层叠体上层叠的由多个氮化铬层构成的第二层叠体。第一层叠体以及第二层叠体是在层叠方向交替地层叠了与上下相接的层相比硬度相对较低的层和硬度相对较高的层而成的部件，在第二层叠体中，硬度相对较高的氮化铬层的膜厚是硬度相对较低的层的膜厚的40％以下。复合塑料部件具备耐磨性较高、滑动性良好、具有导电性以及漂亮外观的层叠体。
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