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发明公开
基板保持工具、基板收容箱、基板保持方法和基板的收容方法审中-实审

公开(公告)号：CN118401891A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202280083216.1

申请日：2022-10-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 泷优介 , 大谷昇 , 坂间太郎 , 神林敬

IPC: G03F1/66 , H01L21/673

Abstract: 本发明的目的在于抑制在掩模/坯料基板的输送中因掩模/坯料基板与基板保持工具之间的摩擦而从基板保持工具的表面产生的磨耗粉(粉尘)。一种基板保持工具，该基板保持工具设置于收容基板的基板收容箱，与上述基板接触来保持上述基板，上述基板在1个侧面具有2个倒角面，其中，上述基板保持工具如下构成，具有：第1保持面，该第1保持面与上述2个倒角面中的第1倒角面的一部分接触来保持上述基板；和第2保持面，该第2保持面与上述2个倒角面中的第2倒角面的一部分接触来保持上述基板，使上述第1保持面与上述第1倒角面所具有的2个棱线部中的1个棱线部接触，使上述第2保持面与上述第2倒角面所具有的2个棱线部中的1个棱线部接触，由此保持上述基板。

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