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公开(公告)号：CN116397303B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202310296969.7
申请日：2023-03-24
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供镀覆装置。在镀覆处理中实时且正确地掌握镀覆膜厚。镀覆装置具备：镀覆槽，其用于收容镀覆液；基板支架，其用于保持基板；阳极，其以与被上述基板支架保持的上述基板对置的方式配置在上述镀覆槽内；电位传感器，其构成为配置于被上述基板支架保持的上述基板的附近，并测定上述镀覆液的电位；以及状态空间模型，其构成为基于上述电位传感器测定出的上述镀覆液的电位的测定值，使用状态方程式以及观测方程式来推断在上述基板的外缘部流过的电流密度。
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公开(公告)号：CN116397303A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310296969.7
申请日：2023-03-24
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供镀覆装置。在镀覆处理中实时且正确地掌握镀覆膜厚。镀覆装置具备：镀覆槽，其用于收容镀覆液；基板支架，其用于保持基板；阳极，其以与被上述基板支架保持的上述基板对置的方式配置在上述镀覆槽内；电位传感器，其构成为配置于被上述基板支架保持的上述基板的附近，并测定上述镀覆液的电位；以及状态空间模型，其构成为基于上述电位传感器测定出的上述镀覆液的电位的测定值，使用状态方程式以及观测方程式来推断在上述基板的外缘部流过的电流密度。
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公开(公告)号：CN116288609B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202211411683.0
申请日：2022-11-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/00
Abstract: 本发明提供镀覆装置，能够实现形成于基板的镀膜的均匀性的提高。镀覆装置具备：镀覆槽、用于保持基板的基板支架以及以与被上述基板支架保持的基板对置的方式配置于上述镀覆槽内的阳极。另外，镀覆装置具备：导管，该导管具有配置于被上述基板支架保持的基板与上述阳极之间的区域的包含开口端的第一部分、和远离被上述基板支架保持的基板与上述阳极之间的区域的第二部分，该导管的至少一部分被镀覆液填满；以及电位传感器，该电位传感器配置于上述导管的上述第二部分，构成为对镀覆液的电位进行测量。
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公开(公告)号：CN116288609A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211411683.0
申请日：2022-11-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: C25D17/00
Abstract: 本发明提供镀覆装置，能够实现形成于基板的镀膜的均匀性的提高。镀覆装置具备：镀覆槽、用于保持基板的基板支架以及以与被上述基板支架保持的基板对置的方式配置于上述镀覆槽内的阳极。另外，镀覆装置具备：导管，该导管具有配置于被上述基板支架保持的基板与上述阳极之间的区域的包含开口端的第一部分、和远离被上述基板支架保持的基板与上述阳极之间的区域的第二部分，该导管的至少一部分被镀覆液填满；以及电位传感器，该电位传感器配置于上述导管的上述第二部分，构成为对镀覆液的电位进行测量。
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公开(公告)号：CN108700078B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201780014161.8
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及扩散器以及多级泵装置，扩散器(250)具备：壳体部(260、270)，其以从流体的流入侧朝向流出侧直径变细的方式划分圆筒状的流路；和多个扩散器翼部(280)，它们在圆筒状的流路配置多个，将圆筒状的流路划分为螺旋状。针对多个扩散器翼部(280)，在壳体部(260、270)的任意的子午面位置处，将相对于旋转轴的周向与扩散器翼部的翼面切线方向所成的角度定义为扩散器翼角度βw。该扩散器翼角度βw(°)相对于子午面位置的单位变化量ΔXc(mm)，以满足Δβw＜2.4·ΔXc的关系的变化量Δβw而变化。另外，扩散器翼角度βw在所有的区域小于90°。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108700078A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780014161.8
申请日：2017-03-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及扩散器以及多级泵装置，扩散器(250)具备：壳体部(260、270)，其以从流体的流入侧朝向流出侧直径变细的方式划分圆筒状的流路；和多个扩散器翼部(280)，它们在圆筒状的流路配置多个，将圆筒状的流路划分为螺旋状。针对多个扩散器翼部(280)，在壳体部(260、270)的任意的子午面位置处，将相对于旋转轴的周向与扩散器翼部的翼面切线方向所成的角度定义为扩散器翼角度βw。该扩散器翼角度βw(°)相对于子午面位置的单位变化量ΔXc(mm)，以满足Δβw＜2.4·ΔXc的关系的变化量Δβw而变化。另外，扩散器翼角度βw在所有的区域小于90°。
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公开(公告)号：CN115244228B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202180003911.8
申请日：2021-02-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法。本发明提供一种能够抑制因滞留在基板的被镀覆面的气泡而导致基板的镀覆品质变差的技术。镀覆装置(1000)具备：镀覆槽(10)，存积镀覆液，并且在内部配置有阳极(11)；基板保持件(30)，配置于比阳极靠上方的位置，将作为阴极的基板保持为基板的被镀覆面朝向下方，并且具有比基板的被镀覆面的外周缘向下方突出的环(31)；旋转机构(40)，使基板保持件旋转；以及升降机构(50)，使基板保持件升降，在环的下表面的一部分配置有朝向下方侧突出的至少一个突起(35)。
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公开(公告)号：CN115244228A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202180003911.8
申请日：2021-02-25
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明涉及镀覆装置以及镀覆装置的气泡除去方法。本发明提供一种能够抑制因滞留在基板的被镀覆面的气泡而导致基板的镀覆品质变差的技术。镀覆装置(1000)具备：镀覆槽(10)，存积镀覆液，并且在内部配置有阳极(11)；基板保持件(30)，配置于比阳极靠上方的位置，将作为阴极的基板保持为基板的被镀覆面朝向下方，并且具有比基板的被镀覆面的外周缘向下方突出的环(31)；旋转机构(40)，使基板保持件旋转；以及升降机构(50)，使基板保持件升降，在环的下表面的一部分配置有朝向下方侧突出的至少一个突起(35)。
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公开(公告)号：CN105179317B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201510280677.X
申请日：2015-05-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04D29/40
CPC classification number: F04D29/4286 , E03F5/22 , E03F5/26 , E03F2201/00 , F04D7/04 , F04D7/045 , F04D13/02 , F04D29/043 , F04D29/22 , F04D29/2288
Abstract: 本发明提供污水泵用的外壳衬垫以及具备该外壳衬垫的污水泵。污水泵所使用的外壳衬垫具备在外壳衬垫与叶轮一起组装于污水泵时应与叶轮的叶片的缘部对置的表面。在表面的至少一部分形成有具有规定宽度的至少一个槽。槽在其宽度方向上具有第一部分、第二部件以及第三部分，其中，第一部分在距离叶轮的旋转中心近的一侧且具有规定深度；第二部分在距离叶轮的旋转中心远的一侧且比第一部分浅；第三部分是将上述第一部分与第二部分相连的倾斜面。
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公开(公告)号：CN105179317A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510280677.X
申请日：2015-05-28
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04D29/40
CPC classification number: F04D29/4286 , E03F5/22 , E03F5/26 , E03F2201/00 , F04D7/04 , F04D7/045 , F04D13/02 , F04D29/043 , F04D29/22 , F04D29/2288
Abstract: 本发明提供污水泵用的外壳衬垫以及具备该外壳衬垫的污水泵。污水泵所使用的外壳衬垫具备在外壳衬垫与叶轮一起组装于污水泵时应与叶轮的叶片的缘部对置的表面。在表面的至少一部分形成有具有规定宽度的至少一个槽。槽在其宽度方向上具有第一部分、第二部件以及第三部分，其中，第一部分在距离叶轮的旋转中心近的一侧且具有规定深度；第二部分在距离叶轮的旋转中心远的一侧且比第一部分浅；第三部分是将上述第一部分与第二部分相连的倾斜面。
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