公开(公告)号：CN101375063B

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200780003819.1

申请日：2007-01-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 穗积崇史 ,  宫下信人 ,  稻田高典 ,  真武幸三 ,  小岛善德 ,  三宅晋 ,  臼井克明

IPC: F04C23/00 ,  F04C18/16 ,  F04C25/02 ,  F04C28/02 ,  H02K49/10

CPC classification number: F04C28/24 ,  F04C18/16 ,  F04C23/00 ,  F04C23/001 ,  F04C25/02 ,  F04C29/0085 ,  H02K7/11 ,  H02K16/00

Abstract: 本发明涉及能够获得大约1Pa的极限压力的干式真空泵单元。真空泵单元包括设置在外压力侧的主泵(15)和设置在真空侧的增压泵(16)。增压泵(16)和主泵(15)串联连接。增压泵(16)具有比主泵(15)泵抽速度更高的泵抽速度。主泵(15)和增压泵(16)包括一对泵转子(52a和52b)，具有入口孔和出口孔的外壳(50)，以及一对与泵转子对一起可旋转的磁转子(54和54)。

公开(公告)号：CN101375063A

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：CN200780003819.1

申请日：2007-01-29

Applicant: 株式会社荏原电产 ,  株式会社荏原制作所

Inventor： 穗积崇史 ,  宫下信人 ,  稻田高典 ,  真武幸三 ,  小岛善德 ,  三宅晋 ,  臼井克明

IPC: F04C23/00 ,  F04C18/16 ,  F04C25/02 ,  F04C28/02 ,  H02K49/10

CPC classification number: F04C28/24 ,  F04C18/16 ,  F04C23/00 ,  F04C23/001 ,  F04C25/02 ,  F04C29/0085 ,  H02K7/11 ,  H02K16/00

Abstract: 本发明涉及能够获得大约1Pa的极限压力的干式真空泵单元。真空泵单元包括设置在外压力侧的主泵(15)和设置在真空侧的增压泵(16)。增压泵(16)和主泵(15)串联连接。增压泵(16)具有比主泵(15)泵抽速度更高的泵抽速度。主泵(15)和增压泵(16)包括一对泵转子(52a和52b)，具有入口孔和出口孔的外壳(50)，以及一对与泵转子对一起可旋转的磁转子(54和54)。