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公开(公告)号:CN111048441A
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201910963541.7
申请日:2019-10-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够抑制因配管的壁面的腐蚀而导致的装置性能下降、装置整体故障的除害装置和该除害装置的配管部的更换方法及配管的清洗方法。除害装置(100)具有形成供处理气体流动的流路(103)的内壁(104),还具备:第一配管(130),形成流路(103)的一部分;能够更换的配管部170,形成流路(103)的一部分,且位于第一配管(130)的流路(103)的下游侧并与第一配管(130)连接,配管部具有对将附着于内壁(104)的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部(174);及第二配管(150),形成流路(103)的一部分,且位于配管部(170)的流路(103)的下游侧并与配管部(170)连接。
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公开(公告)号:CN103368311A
公开(公告)日:2013-10-23
申请号:CN201310117645.9
申请日:2013-03-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: H02K5/12
CPC classification number: H02K5/128 , F04D17/08 , F04D25/06 , F04D29/60 , H02K3/18 , H02K3/487 , H02K2005/1287
Abstract: 本发明提供一种封闭电动机,能够将树脂制的容器的厚度降低。与真空泵连结且作为真空泵的旋转驱动源而使用的封闭电动机具有:定子铁心;配置在定子铁心的内侧的转子;和非导电性的容器,该容器配置在定子铁心与转子之间,且将定子铁心和转子隔离,并以树脂、陶瓷、或者这些的复合材料为材料。容器通过粘结剂与定子铁心粘结。
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公开(公告)号:CN111048441B
公开(公告)日:2024-05-31
申请号:CN201910963541.7
申请日:2019-10-11
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 本发明提供能够抑制因配管的壁面的腐蚀而导致的装置性能下降、装置整体故障的除害装置和该除害装置的配管部的更换方法及配管的清洗方法。除害装置(100)具有形成供处理气体流动的流路(103)的内壁(104),还具备:第一配管(130),形成流路(103)的一部分;能够更换的配管部170,形成流路(103)的一部分,且位于第一配管(130)的流路(103)的下游侧并与第一配管(130)连接,配管部具有对将附着于内壁(104)的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部(174);及第二配管(150),形成流路(103)的一部分,且位于配管部(170)的流路(103)的下游侧并与配管部(170)连接。
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公开(公告)号:CN101375063B
公开(公告)日:2011-04-27
申请号:CN200780003819.1
申请日:2007-01-29
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04C28/24 , F04C18/16 , F04C23/00 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C29/0085 , H02K7/11 , H02K16/00
Abstract: 本发明涉及能够获得大约1Pa的极限压力的干式真空泵单元。真空泵单元包括设置在外压力侧的主泵(15)和设置在真空侧的增压泵(16)。增压泵(16)和主泵(15)串联连接。增压泵(16)具有比主泵(15)泵抽速度更高的泵抽速度。主泵(15)和增压泵(16)包括一对泵转子(52a和52b),具有入口孔和出口孔的外壳(50),以及一对与泵转子对一起可旋转的磁转子(54和54)。
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公开(公告)号:CN101375063A
公开(公告)日:2009-02-25
申请号:CN200780003819.1
申请日:2007-01-29
CPC classification number: F04C28/24 , F04C18/16 , F04C23/00 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C29/0085 , H02K7/11 , H02K16/00
Abstract: 本发明涉及能够获得大约1Pa的极限压力的干式真空泵单元。真空泵单元包括设置在外压力侧的主泵(15)和设置在真空侧的增压泵(16)。增压泵(16)和主泵(15)串联连接。增压泵(16)具有比主泵(15)泵抽速度更高的泵抽速度。主泵(15)和增压泵(16)包括一对泵转子(52a和52b),具有入口孔和出口孔的外壳(50),以及一对与泵转子对一起可旋转的磁转子(54和54)。
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公开(公告)号:CN112403247A
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:CN202010847273.5
申请日:2020-08-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B01D53/79
Abstract: 一种废气处理装置,用于通过使处理气体与液体接触而将处理气体无害化,该废气处理装置具备:吸入壳体,该吸入壳体具有吸入口及导出口,该吸入口吸入所述处理气体,该导出口供所述处理气体流出;液槽,该液槽接受所述吸入壳体的所述导出口侧的部分,并储存液体;以及一个或多个喷雾喷嘴,该一个或多个喷雾喷嘴配置于所述液槽内,所述吸入壳体的所述导出口配置为,与所述液槽内的液体的液面相比位于上方,所述一个或多个喷雾喷嘴的喷雾构成为,从周围对所述吸入壳体的所述导出口的周围的部分呈雾状地喷出液体。
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公开(公告)号:CN103633776B
公开(公告)日:2018-01-02
申请号:CN201310241596.X
申请日:2013-06-18
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04B17/00 , F04C29/0085 , F04C2220/10 , F04C2230/605 , F04C2240/40 , F04C2270/12 , F04C2280/04 , H02K7/04 , H02K7/14
Abstract: 本发明提供一种真空泵用电机及具有该真空泵用电机的真空泵,该电机为与真空泵(20)的泵主轴(21)直接连接的真空泵用的电机(100),其包括:电机转子(120),该电机转子(120)直接地或间接地安装于所述泵主轴(21);以及平衡环(127),该平衡环(127)直接地或间接地安装于所述泵主轴(21),该平衡环(127)安装在从转子铁心(123)的两端部离开的该转子铁心(123)两侧,所述平衡环(127)包含具有耐腐蚀性的材料。上述电机不会产生旋转不平衡。
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公开(公告)号:CN112403247B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202010847273.5
申请日:2020-08-21
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: B01D53/79
Abstract: 一种废气处理装置,用于通过使处理气体与液体接触而将处理气体无害化,该废气处理装置具备:吸入壳体,该吸入壳体具有吸入口及导出口,该吸入口吸入所述处理气体,该导出口供所述处理气体流出;液槽,该液槽接受所述吸入壳体的所述导出口侧的部分,并储存液体;以及一个或多个喷雾喷嘴,该一个或多个喷雾喷嘴配置于所述液槽内,所述吸入壳体的所述导出口配置为,与所述液槽内的液体的液面相比位于上方,所述一个或多个喷雾喷嘴的喷雾构成为,从周围对所述吸入壳体的所述导出口的周围的部分呈雾状地喷出液体。
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公开(公告)号:CN103595165B
公开(公告)日:2018-04-10
申请号:CN201310360446.0
申请日:2013-08-15
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04D29/08 , F04C15/008 , F04C29/0085 , H02K5/12 , H02K5/225
Abstract: 本发明公开一种密封结构、包括所述密封结构的真空泵马达、以及真空泵。具体地,为了提供用于真空泵马达的以确保方式保持真空泵马达的密封性能的密封结构,提供了一种用于真空泵马达(100)的密封结构,包括导线(151a),其穿过形成在待连接到马达定子(110)的马达框架(140)中的开口部分(143)和密封开口部分(143)的密封构件(145),其中,导线(151a)包括芯线部分(154a)和覆盖所述芯线部分(154a)的覆盖部分(155a),并且密封部分(153a)形成在芯线部分(154a)的至少一部分中。
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