信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法

    公开(公告)号:CN114151343B

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202111445710.1

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法,信息处理装置具备:读取部,该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件,存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件;检测部,该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据;及比较部,该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较,比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。

    干式真空泵装置、排气单元和消音器

    公开(公告)号:CN102220981A

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN201110132333.6

    申请日:2011-04-19

    CPC classification number: F04C29/061 F04C18/12 F04C2220/12

    Abstract: 本发明涉及一种干式真空泵装置,其包括可以减小尺寸的消音器,以用于有效地在从低到高频率的宽频率范围内降低从干式真空泵的末端出口和中间释放出口排出气体的噪音。干式真空泵装置包括干式真空泵(10),其具有末端出口(18)和中间释放出口(19)、连接至末端出口(18)并具有出口的排气段止回阀(51)、连接至中间释放出口(19)并具有出口的中间段止回阀(52)、以及连接至排气段止回阀(51)的出口和中间段止回阀(52)的出口的排气通道(56)、连接至排气通道(56)并具有出口的消音器(53),所述消音器(53)的出口连接至通气至大气的末端排气通道(56a)。

    信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法

    公开(公告)号:CN114151343A

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202111445710.1

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法,信息处理装置具备:读取部,该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件,存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件;检测部,该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据;及比较部,该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较,比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。

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