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公开(公告)号:CN114151343B
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202111445710.1
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: G05B19/042 , F04C28/28
Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法,信息处理装置具备:读取部,该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件,存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件;检测部,该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据;及比较部,该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较,比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。
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公开(公告)号:CN114109799B
公开(公告)日:2024-06-11
申请号:CN202111448722.X
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , F04C28/28 , F04D27/00 , G06F17/18 , G05B19/418
Abstract: 一种信息处理装置及信息处理方法,信息处理装置具有比较部,该比较部参照存储部,对从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常数据的倾向与存储于所述存储部的基准数据进行比较,并输出比较结果,所述存储部存储有使用已故障的真空泵的状态量数据中检测出的异常数据的倾向而决定的用于判定到达故障的可能性的基准数据。
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公开(公告)号:CN110050125B
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN201880004933.4
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , G05B19/418
Abstract: 本发明具有:决定部,该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量,来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为,所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量;及比较部,该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较,并输出比较结果。
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公开(公告)号:CN1117216C
公开(公告)日:2003-08-06
申请号:CN99800137.6
申请日:1999-02-15
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04C18/126 , F04C18/084 , Y10T29/49242
Abstract: 一种转子,其内部可以防止水的侵入并抵抗因施加的应力而引起的变形,这种应力在真空泵的操作过程中经常会遇到。转子中包含一个成形得与若干突起部构成的轮廓一致的转子壳以及用于覆盖住转子壳横端的侧板。一个转轴固定在所述侧板上。一个由转子壳和侧板形成的中空部分处于真空环境中。
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公开(公告)号:CN114109799A
公开(公告)日:2022-03-01
申请号:CN202111448722.X
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , F04C28/28 , F04D27/00 , G06F17/18 , G05B19/418
Abstract: 一种信息处理装置及信息处理方法,信息处理装置具有比较部,该比较部参照存储部,对从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常数据的倾向与存储于所述存储部的基准数据进行比较,并输出比较结果,所述存储部存储有使用已故障的真空泵的状态量数据中检测出的异常数据的倾向而决定的用于判定到达故障的可能性的基准数据。
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公开(公告)号:CN102220981A
公开(公告)日:2011-10-19
申请号:CN201110132333.6
申请日:2011-04-19
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04C29/061 , F04C18/12 , F04C2220/12
Abstract: 本发明涉及一种干式真空泵装置,其包括可以减小尺寸的消音器,以用于有效地在从低到高频率的宽频率范围内降低从干式真空泵的末端出口和中间释放出口排出气体的噪音。干式真空泵装置包括干式真空泵(10),其具有末端出口(18)和中间释放出口(19)、连接至末端出口(18)并具有出口的排气段止回阀(51)、连接至中间释放出口(19)并具有出口的中间段止回阀(52)、以及连接至排气段止回阀(51)的出口和中间段止回阀(52)的出口的排气通道(56)、连接至排气通道(56)并具有出口的消音器(53),所述消音器(53)的出口连接至通气至大气的末端排气通道(56a)。
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公开(公告)号:CN1256744A
公开(公告)日:2000-06-14
申请号:CN99800137.6
申请日:1999-02-15
Applicant: 株式会社荏原制作所
CPC classification number: F04C18/126 , F04C18/084 , Y10T29/49242
Abstract: 一种转子,其内部可以防止水的侵入并抵抗因施加的应力而引起的变形,这种应力在真空泵的操作过程中经常会遇到。转子中包含一个成形得与若干突起部构成的轮廓一致的转子壳以及用于覆盖住转子壳横端的侧板。一个转轴固定在所述侧板上。一个由转子壳和侧板形成的中空部分处于真空环境中。
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公开(公告)号:CN114109832B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN202111445458.4
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
Abstract: 一种信息处理装置,具有:决定部,该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量,来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为,所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量;及比较部,该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较,并输出比较结果。
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公开(公告)号:CN114151343A
公开(公告)日:2022-03-08
申请号:CN202111445710.1
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04C28/28 , G05B19/042
Abstract: 一种信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法,信息处理装置具备:读取部,该读取部从存储装置读取对应于运转中的对象真空泵所属群组的共同条件,存储装置按每个设定群组储存属于该设定群组的真空泵的异常数据发生倾向的共同条件;检测部,该检测部从运转中的对象真空泵的状态量数据检测第二异常数据;及比较部,该比较部对读取出的共同条件与检测出的第二异常数据的发生倾向进行比较,比较部在每个对应的时刻对表示异常的容许范围随时间变化的数据与从运转中的真空泵的状态量数据检测出的异常的时间序列数据进行比较。
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公开(公告)号:CN110050125A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201880004933.4
申请日:2018-03-13
Applicant: 株式会社荏原制作所
IPC: F04B51/00 , G05B19/418
Abstract: 本发明具有:决定部,该决定部至少使用一个对象真空泵或其他真空泵的过去的对象状态量,来决定该对象状态量的正常变动范围或正常时间变动行为,所述对象状态量是根据流入真空泵内的气体负荷而变动的状态量;及比较部,该比较部对所述对象真空泵的当前的对象状态量和该正常变动范围或该正常时间变动行为进行比较,并输出比较结果。
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