公开(公告)号：CN1763240A

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：CN200510114033.X

申请日：2005-10-19

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 茂山和基

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C23C14/54

CPC classification number: C23C14/3407

Abstract: 为了减小由结合或膜沉积造成的翘曲并且能够长时间稳定进行膜沉积，提供一种用于溅射Al－Nd合金的组合件，该组合件包括：含有Nd含量0.1到3原子％的铝合金的Al－Nd合金溅射靶，和硬钎焊在Al－Nd合金溅射靶上的背衬板，其中Al－Nd合金溅射靶在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为A，背衬板在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为B，并且A和B满足如下条件(1)：－0.15≤(B－A)/A＜0.15 (1)。

公开(公告)号：CN1763241A

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：CN200510114034.4

申请日：2005-10-19

Applicant: 株式会社钢臂功科研

Inventor： 茂山和基 ,  森元荣一

IPC: C23C14/34

CPC classification number: H01J37/3435 ,  C23C14/3407

Abstract: 一种溅射靶用背衬板包含在25℃到100℃温度下的平均线性膨胀系数为23.0×10－6/℃或以下的铝合金。这种背衬板防止了和靶结合时出现的翘曲，减小了Al－Nd合金薄膜的膜沉积(溅射)时出现的应力，省去了翘曲的矫平处理，减小了安置在靶和背衬板之间的硬钎料的破裂，从而能够长期进行稳定的膜沉积操作。