焊垫图案修复设备
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102939544A

    公开(公告)日:2013-02-20

    申请号:CN201180018013.6

    申请日:2011-04-06

    CPC classification number: G02F1/1309 G02F1/13458 G02F1/136259 H01L22/32

    Abstract: 本发明涉及一种焊垫图案修复设备。本发明提供一种用于修复在配备成将信号施加于多个基板中的一者的焊垫电极中的缺陷的设备,包括:阶台,基板装载进阶台的参考面;腔室,第一排放口、保护气体出口及第二排放口关于激光发射孔而依序地形成在腔室的下表面中,腔室被装备在阶台上并移动至焊垫电极的缺陷位置,且腔室在激光发射孔的中间具有将净化气体及原料气体排出的结构;以及夹钳,被安装在阶台上并支撑紧密黏附于参考面的基板的相对面,其中基板及腔室的下表面之间的间隙在腔室的下表面的内部及外部变化。根据本发明的焊垫图案修复设备将在进行修复缺陷的区域中的压力维持于不变的层级,而改善工艺合格率。

    低辐射玻璃热处理方法以及系统

    公开(公告)号:CN108423977B

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN201710405277.6

    申请日:2017-05-31

    Abstract: 本发明公开了低辐射玻璃热处理方法以及系统。低辐射玻璃热处理方法包括如下的步骤:将在一面形成有金属膜的玻璃板装载于传送装置的一侧;在从传送装置的一侧向另一侧的传送方向的第一区域中使用第一温度的微波首次选择性热处理金属膜至固定深度以下;在使用微波热处理的步骤之前或者之后,在传送方向的第二区域中用第二温度的激光束选择性热处理金属膜,其中该第二区域位于第一区域的前端或者后端。

    低辐射玻璃热处理方法以及系统

    公开(公告)号:CN108423977A

    公开(公告)日:2018-08-21

    申请号:CN201710405277.6

    申请日:2017-05-31

    Abstract: 本发明公开了低辐射玻璃热处理方法以及系统。低辐射玻璃热处理方法包括如下的步骤:将在一面形成有金属膜的玻璃板装载于传送装置的一侧;在从传送装置的一侧向另一侧的传送方向的第一区域中使用第一温度的微波首次选择性热处理金属膜至固定深度以下;在使用微波热处理的步骤之前或者之后,在传送方向的第二区域中用第二温度的激光束选择性热处理金属膜,其中该第二区域位于第一区域的前端或者后端。

    焊垫图案修复设备
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102939544B

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201180018013.6

    申请日:2011-04-06

    CPC classification number: G02F1/1309 G02F1/13458 G02F1/136259 H01L22/32

    Abstract: 本发明涉及一种焊垫图案修复设备。本发明提供一种用于修复在配备成将信号施加于多个基板中的一者的焊垫电极中的缺陷的设备,包括:阶台,基板装载进阶台的参考面;腔室,第一排放口、保护气体出口及第二排放口关于激光发射孔而依序地形成在腔室的下表面中,腔室被装备在阶台上并移动至焊垫电极的缺陷位置,且腔室在激光发射孔的中间具有将净化气体及原料气体排出的结构;以及夹钳,被安装在阶台上并支撑紧密黏附于参考面的基板的相对面,其中基板及腔室的下表面之间的间隙在腔室的下表面的内部及外部变化。根据本发明的焊垫图案修复设备将在进行修复缺陷的区域中的压力维持于不变的层级,而改善工艺合格率。

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