公开(公告)号：CN102939544A

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN201180018013.6

申请日：2011-04-06

Applicant: 株式会社COWINDST

Inventor： 金仙株 ,  金宇珍 ,  朴成勋 ,  李孝成

IPC: G01R1/06 ,  H01L21/66 ,  G02F1/1345

CPC classification number: G02F1/1309 ,  G02F1/13458 ,  G02F1/136259 ,  H01L22/32

Abstract: 本发明涉及一种焊垫图案修复设备。本发明提供一种用于修复在配备成将信号施加于多个基板中的一者的焊垫电极中的缺陷的设备，包括：阶台，基板装载进阶台的参考面；腔室，第一排放口、保护气体出口及第二排放口关于激光发射孔而依序地形成在腔室的下表面中，腔室被装备在阶台上并移动至焊垫电极的缺陷位置，且腔室在激光发射孔的中间具有将净化气体及原料气体排出的结构；以及夹钳，被安装在阶台上并支撑紧密黏附于参考面的基板的相对面，其中基板及腔室的下表面之间的间隙在腔室的下表面的内部及外部变化。根据本发明的焊垫图案修复设备将在进行修复缺陷的区域中的压力维持于不变的层级，而改善工艺合格率。

公开(公告)号：CN102939544B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201180018013.6

申请日：2011-04-06

Applicant: 株式会社COWINDST

Inventor： 金仙株 ,  金宇珍 ,  朴成勋 ,  李孝成

IPC: G01R1/06 ,  H01L21/66 ,  G02F1/1345

CPC classification number: G02F1/1309 ,  G02F1/13458 ,  G02F1/136259 ,  H01L22/32

Abstract: 本发明涉及一种焊垫图案修复设备。本发明提供一种用于修复在配备成将信号施加于多个基板中的一者的焊垫电极中的缺陷的设备，包括：阶台，基板装载进阶台的参考面；腔室，第一排放口、保护气体出口及第二排放口关于激光发射孔而依序地形成在腔室的下表面中，腔室被装备在阶台上并移动至焊垫电极的缺陷位置，且腔室在激光发射孔的中间具有将净化气体及原料气体排出的结构；以及夹钳，被安装在阶台上并支撑紧密黏附于参考面的基板的相对面，其中基板及腔室的下表面之间的间隙在腔室的下表面的内部及外部变化。根据本发明的焊垫图案修复设备将在进行修复缺陷的区域中的压力维持于不变的层级，而改善工艺合格率。