公开(公告)号：CN105789090A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201610012259.7

申请日：2016-01-08

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 李在镇 ,  朴喜载

IPC: H01L21/67 ,  H01L51/56 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24

CPC classification number: H01L21/67167 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  H01L51/56

Abstract: 本发明涉及有机发光元件制造用集群型沉积装置，其特征在于，包括：加载腔室，用于供应有机发光元件用基板；多个集群，分别具备：具有基板移送用移送单元的搬送腔室；和配设在所述搬送腔室的周围的工艺腔室，所述工艺腔室从所述加载腔室接收基板并进行沉积，所述多个集群连接于搬送及旋转基板的缓冲腔室，所述工艺腔室内部的两侧具备分别支撑基板的基板支撑架，所述工艺腔室内部的底面上具备为了在所述基板上沉积有机物而往返移动于两侧基板支撑架的下部区域的沉积源，所述移送单元包括：基板支架；前后移动用多关节连杆，其前端部连接于所述基板支架；及转动连杆，其一端部连接于所述搬运腔室的中央，另一端部连接于所述多关节连杆的后端部，使得多关节连杆的前端部和后端部配设于从基板支撑架的正面中央与沉积源的移动方向正交的基板移送线上。

公开(公告)号：CN105543778A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201510707277.2

申请日：2015-10-27

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 金英镐 ,  李在镇 ,  朴喜载

IPC: C23C14/04

Abstract: 本发明涉及一种沉积用掩模安装装置，本发明的沉积用掩模安装装置为在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模的装置，其特征在于，包括：基底，用于在其上面的安装位置上安装所述掩模；及安装部，设置在所述基底上，形成有用于安装所述掩模的下面的安装面和对所述掩模的侧面进行加压的加压面，在所述安装部中，所述加压面与在安装所述掩模时下降的安装面联动而对所述掩模进行加压，从而将所述掩模移送至安装位置上。由此，本发明提供一种沉积用掩模安装装置，其结构简单，并且在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动安装在安装位置上。