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公开(公告)号：CN105543778A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510707277.2
申请日：2015-10-27
Applicant: 株式会社SNU精密
IPC: C23C14/04
Abstract: 本发明涉及一种沉积用掩模安装装置，本发明的沉积用掩模安装装置为在沉积工艺中安装用于对准基板的掩模的装置，其特征在于，包括：基底，用于在其上面的安装位置上安装所述掩模；及安装部，设置在所述基底上，形成有用于安装所述掩模的下面的安装面和对所述掩模的侧面进行加压的加压面，在所述安装部中，所述加压面与在安装所述掩模时下降的安装面联动而对所述掩模进行加压，从而将所述掩模移送至安装位置上。由此，本发明提供一种沉积用掩模安装装置，其结构简单，并且在无需额外动力的情况下，在安装部件上安装掩模时，将掩模自动安装在安装位置上。
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