公开(公告)号：CN101657893B

公开(公告)日：2011-11-30

申请号：CN200880009848.3

申请日：2008-04-17

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 朴喜载 ,  申兴铉 ,  李日焕

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/94 ,  G01N21/95607

Abstract: 本发明公开了一种半导体晶圆的异物检测和修复系统及其方法。该系统包括：移送臂，用于移送并对准晶圆；检测装置，其安置晶圆，用于获取晶圆表面的图像；分析模块，用于分析出现在由所述检测装置获取的图像上的异物；以及修复装置，用于根据所分析的异物信息修复异物。该方法包括以下步骤：移送并对准晶圆；向经过对准的晶圆照射光线以获取晶圆的表面图像；读取表面图像以生成异物信息(位置、高度、直径)；将读取的异物信息与基准数据进行比较；将根据比较结果被判定为修复对象的异物的信息传送到修复装置；根据接收到的异物信息修复该异物。通过本发明的简单的结构检测及修复晶圆上的异物，能够节约费用，防止制造装备损耗，并提高半导体芯片的产率。

公开(公告)号：CN101946154A

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200980105530.X

申请日：2009-02-10

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 朴喜载 ,  李日焕 ,  姜盛范

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/245 ,  G01N21/89

Abstract: 公开了一种用于检测各种类型的检测目标的视觉检测系统以及使用该视觉检测系统对检测目标进行检测的检测方法。该视觉检测系统包括具有其上放置检测目标的台子的工件台、多个行扫描照相机和配置为处理检测目标的扫描图像的计算机。每一个具有标记台坐标值的多个标记提供于台子的上表面上，以使得行扫描照相机能够获得标记的扫描图像。每两个相邻的标记放置于每个行扫描照相机的视场内。第一和最末标记之间的标记以使得在每两个相邻的行扫描照相机的视场重叠内的方式分别放置。检测方法使用标记图像坐标值和工件图像坐标值计算工件图像-台坐标值，并当工件图像-台坐标值落入关于工件台坐标值的允许的容差范围内时，确定检测目标为合格。

公开(公告)号：CN101657893A

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200880009848.3

申请日：2008-04-17

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 朴喜载 ,  申兴铉 ,  李日焕

IPC: H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/94 ,  G01N21/95607

Abstract: 本发明公开了一种半导体晶圆的异物检测和修复系统及其方法。该系统包括：移送臂，用于移送并对准晶圆；检测装置，其安置晶圆，用于获取晶圆表面的图像；分析模块，用于分析出现在由所述检测装置获取的图像上的异物；以及修复装置，用于根据所分析的异物信息修复异物。该方法包括以下步骤：移送并对准晶圆；向经过对准的晶圆照射光线以获取晶圆的表面图像；读取表面图像以生成异物信息(位置、高度、直径)；将读取的异物信息与基准数据进行比较；将根据比较结果被判定为修复对象的异物的信息传送到修复装置；根据接收到的异物信息修复该异物。通过本发明的简单的结构检测及修复晶圆上的异物，能够节约费用，防止制造装备损耗，并提高半导体芯片的产率。

公开(公告)号：CN101802545A

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200880104955.4

申请日：2008-08-11

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 朴喜载 ,  李日焕 ,  崔洵民 ,  李正缟

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/2518

Abstract: 提供了一种利用LCD的三维形貌测量装置，将正弦波图案形成在测量物上，借此用摄像机及上述正弦波图案获得测量物的影像信息，然后分析影像信息来测得测量物的形貌，所述装置包括LCD投影仪，该LCD投影仪包括：向前方照射光的光源；位于光源的前方，产生具有多个相位和多个周期的正弦波图案的LCD面板；配置在LCD面板的前方及后方的偏转板；隔开配置在LCD面板的前方，使由LCD面板产生的正弦波图案成像在测量物上的第一聚焦透镜；以及支承上述光源、LCD面板、偏转板及第一聚焦透镜的壳体。

公开(公告)号：CN101802545B

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN200880104955.4

申请日：2008-08-11

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 朴喜载 ,  李日焕 ,  崔洵民 ,  李正缟

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/2518

Abstract: 提供了一种利用LCD的三维形貌测量装置，将正弦波图案形成在测量物上，借此用摄像机及上述正弦波图案获得测量物的影像信息，然后分析影像信息来测得测量物的形貌，所述装置包括LCD投影仪，该LCD投影仪包括：向前方照射光的光源；位于光源的前方，产生具有多个相位和多个周期的正弦波图案的LCD面板；配置在LCD面板的前方及后方的偏转板；隔开配置在LCD面板的前方，使由LCD面板产生的正弦波图案成像在测量物上的第一聚焦透镜；以及支承上述光源、LCD面板、偏转板及第一聚焦透镜的壳体。

公开(公告)号：CN101836153A

公开(公告)日：2010-09-15

申请号：CN200980100216.2

申请日：2009-01-16

Applicant: 株式会社SNU精密

Inventor： 金兑昱 ,  朴喜载 ,  李日焕

IPC: G02F1/13

CPC classification number: G01N21/956 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/9513 ,  G02F1/1303

Abstract: 本发明涉及暗场检测装置，包括：照明单元，向基板上的被检物体发射光线；反射单元，将被所述被检物体反射后射入的光线或者透射所述基板射入的光线重新反射到所述被检物体；及摄像单元，利用从所述被检物体散射过来的光线拍摄所述被检物体。其中，所述照明单元、反射单元及摄像单元的配置要满足：由所述照明单元发射的光线中部分光线被所述被检物体散射到所述摄像单元，由所述照明单元发射的光线中另一部分光线则射入所述反射单元，而被所述反射单元重新反射到所述被检物体的光线则被所述被检物体散射后射入所述摄像单元。