6英寸铁酸铋基梯度薄膜和MEMS芯片制备方法

    公开(公告)号:CN118119262A

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202410045559.X

    申请日:2024-01-12

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本申请公开一种6英寸铁酸铋基梯度薄膜和MEMS芯片的制备方法,涉及功能薄膜材料及微加工工艺器件技术领域,得到的6英寸的大面积薄膜的制备工艺为:配置不同Gd掺杂浓度的BGFO溶胶;将制得的BGFO溶胶,依次旋涂在SOI晶圆衬底上,得到BGFO薄膜;Gd掺杂浓度沿厚度方向等比例递增;将制得的BGFO薄膜放入快速退火炉或热台中进行干燥,在快速退火炉热解和退火,经过层层退火制得所述铁酸铋基薄膜。本发明薄膜结构致密,表面起伏较小,具有良好的压电铁电性能,并且未加电场极化就具有特定的自极化方向。同时提供了MEMS芯片的制备工艺。本发明的MEMS芯片在微型化电子元器件应用方面具有很大的潜力。

    一种双晶片结构压电纤维复合材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN108493324B

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN201810216289.9

    申请日:2018-03-16

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明公开一种双晶片结构压电纤维复合材料,由上交叉指形电极、中间交叉指形电极、下交叉指形电极交叉指形、压电纤维和高分子聚合物构成,压电纤维和高分子聚合物交替排列,交替排列的压电纤维和高分子聚合物在压电纤维复合材料的厚度方向上为两层排布。本发明双晶片结构压电纤维复合材料,具有高柔韧性及优异的压电驱动特性,可以提供大量程的驱动变形能力;双晶片结构压电纤维复合材料集压电纤维、聚合物及交叉指形电极于一体,集成度高,便于操作及使用;此外,双晶片结构压电纤维复合材料采用切割‑填充法制备,工艺简单,成本低廉,生产周期短,产品性能稳定。

    一种声发射传感器动态和静态特性标定方法

    公开(公告)号:CN113984907A

    公开(公告)日:2022-01-28

    申请号:CN202111297764.8

    申请日:2021-11-04

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明提供一种声发射传感器动态和静态特性标定方法,包括以下步骤:准备声发射采集仪、声发射传感器、铝板、氧化锆小球、前置放大器和计算机;将铝板平放于光滑桌面上,桌面须进行水平校准;将声发射传感器固定在铝板上,在距离声发射传感器9cm的位置垂直固定一把钢尺;将氧化锆小球在距离铝板1cm距离自由释放,每次释放增加;将氧化锆小球在距离铝板大于等于15 cm距离自由释放,每次释放减小;根据声发射传感器输入‑输出关系间接计算其静态特性和动态特性。该标定方法能够对声发射传感器进行较好的标定,在声发射传感器性能评价和标定等领域具有广泛的应用前景。

    一种一体化压电陶瓷球壳及其加工方法

    公开(公告)号:CN113336546A

    公开(公告)日:2021-09-03

    申请号:CN202110574676.1

    申请日:2021-05-26

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明公开了一种一体化压电陶瓷球壳及其加工方法,一体化压电陶瓷球壳包括两个半球壳,两个半球壳之间通过压电陶瓷低温共烧烧结剂烧结,压电陶瓷低温共烧烧结剂原料包括PZT陶瓷粉、低熔点混合玻璃粉和松油醇。将PZT陶瓷粉、低熔点混合玻璃粉和松油醇按比例混合,制备成压电陶瓷低温共烧烧结剂,制备的压电陶瓷低温共烧烧结剂涂抹在压电陶瓷上下半球的粘结处,常温干燥2‑4小时,干燥后的压电陶瓷球壳进行低温烧结,烧结温度为700~800℃,烧结时间为1.5~3小时。本发明将压电陶瓷半球壳低温烧结成压电陶瓷球壳从而实现一体化,制备的球形换能器力学和电学性能优良,有利于其工作功率的提高。

    一种高储能特性的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器及其制备方法

    公开(公告)号:CN109494076B

    公开(公告)日:2020-07-07

    申请号:CN201811256156.0

    申请日:2018-10-26

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明属于电子功能材料与器件领域,具体涉及一种高储能特性的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器及其制备方法。本发明的薄膜电容器,由柔性云母基片、Pt薄膜底电极、铁电薄膜层和金属Pt或Au顶电极组成。本发明的薄膜电容器,以钛酸铋钠基铁电薄膜作为功能层,其化学通式为0.97(0.94Na0.5Bi0.5TiO3‑0.06BaTiO3)‑0.03BiFeO3‑xCeO2‑yMnO2,其中0≤x≤1%,0≤y≤2%,且y>x。本发明工艺简单、成本低廉,所制备的柔性钛酸铋钠基薄膜电容器耐弯折、储能密度大、储能效率高、热稳定性好、损耗低,可满足柔性储能元器件的要求。

    大长径比压电陶瓷管的极化系统及其极化方法

    公开(公告)号:CN104183695A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410441375.1

    申请日:2014-09-02

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明公开了一种大长径比压电陶瓷管的极化系统,包括耐压测试仪、密封真空容器、用于夹持压电陶瓷管的极化夹具和对密封真空容器加热的加热装置,所述耐压测试仪与设置在密封真空容器内的极化夹具连接,所述密封真空容器置于加热装置上。本发明有效解决了传统极化夹具无法实现极化面为小弯曲平面材料的极化这一问题,实现了大长径比压电陶瓷管内外壁与正负电极的接触,保证了大长径比陶瓷管的极化成功率,适用于极化不同壁厚的大长径比压电陶瓷管。另外,本发明采用真空极化法,在真空中进行极化,极化过程中不使用硅油,既降低了极化成本,又简化了极化工序,避免了油浴极化法的后续清洗过程。

    一种碳-高贝利特水泥基超级电容器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117809988B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202410120004.7

    申请日:2024-01-29

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明涉及一种碳‑高贝利特水泥基超级电容器及其制备方法,水泥基超级电容器包括含有铜箔电极、绝缘封装、以及碳‑高贝利特水泥基电解质的电容器组件,两部分组件浸泡在人工海水电解液里,形成超级电容器储能器件。碳‑高贝利特水泥基超级电容器的制备包含以下步骤:S1:将高贝利特水泥与碳黑、碳纤维混合研磨并搅拌均匀,得到碳‑水泥混合物;S2:将酚醛或聚氨酯加入步骤S1得到的碳‑水泥混合物中并研磨均匀,然后加入去离子水得到水泥基浆体;S3:将步骤S2得到的浆体倒入模具成型后放入养护室养护至凝固成型,得到所述的碳‑高贝利特水泥基电解质;S4:将步骤S3的碳‑高贝利特水泥基电解质单面贴上铜箔并引出导线后,用防水绝缘胶密封铜箔电极构成组件,最后将两片等同组件水泥面“面对面”浸泡在人工海水里得到碳‑高贝利特水泥基超级电容器。本发明的水泥基超级电容器拥有较高的电流密度、放电速率,适合海上光伏、风能发电的应用需求,对打造“海上新能源+储能”应用带具有积极的推动作用。

    一种基于湿法纤维缠绕的球形压电换能器预应力定量控制方法

    公开(公告)号:CN117922048A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202410146197.3

    申请日:2024-02-02

    Applicant: 济南大学

    Abstract: 本发明提供一种基于湿法纤维缠绕的球形压电换能器预应力定量控制方法,包括根据预期机械抗张应力极限计算压电陶瓷球表面的界面压强和纤维产生的径向力,进而计算出定量施加预应力所需的纤维张力,通过丝嘴和压电陶瓷球壳芯模复合旋转在压电陶瓷球壳表面包覆预应力纤维,最终提高球形压电换能器的输入电功率极限。本发明利用湿法纤维缠绕在压电陶瓷球壳表面包覆纤维层,通过控制纤维张应力实现球形压电换能器预应力的定量控制,具备生产效率高、应力一致性好、适用范围广等优势。

Patent Agency Ranking