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公开(公告)号：CN101915556B
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201010224868.1
申请日：2010-07-09
Applicant: 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉测量系统。由于实际抛光加工过程中光学球面的反射率低，高精度干涉检测系统需要具有条纹对比度可调的功能，以得到理想的干涉条纹对比度。本发明解决了在保证球面面形检测精度的同时，实现干涉条纹对比度可调的问题。本发明的技术特点在于：基于可实现高精度检测的点衍射干涉系统，通过引入偏振光学元件调整光束偏振态，建立可实现调节干涉条纹对比度的偏振点衍射干涉系统；通过对干涉系统中各元件的功能特点分析，提出了相应的结构设计及系统误差校正方法，以实现高精度的球面面形检测。本发明为低反射率光学球面面形的高精度检测提供了一种可行的检测方法。
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公开(公告)号：CN101915556A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010224868.1
申请日：2010-07-09
Applicant: 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种可用于低反射率光学球面面形检测的偏振点衍射干涉测量系统。由于实际抛光加工过程中光学球面的反射率低，高精度干涉检测系统需要具有条纹对比度可调的功能，以得到理想的干涉条纹对比度。本发明解决了在保证球面面形检测精度的同时，实现干涉条纹对比度可调的问题。本发明的技术特点在于：基于可实现高精度检测的点衍射干涉系统，通过引入偏振光学元件调整光束偏振态，建立可实现调节干涉条纹对比度的偏振点衍射干涉系统；通过对干涉系统中各元件的功能特点分析，提出了相应的结构设计及系统误差校正方法，以实现高精度的球面面形检测。本发明为低反射率光学球面面形的高精度检测提供了一种可行的检测方法。
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公开(公告)号：CN1563957A
公开(公告)日：2005-01-12
申请号：CN200410017628.9
申请日：2004-04-09
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/956
Abstract: 本发明公开了一种光滑表面疵病的自动化检测方法及其系统。根据疵病标准及其疵病的光散射特性，建立了新颖的适合于大口径子孔径扫描散射成像的计算机辅助的数字化检测装置；它采用了多光纤多方位角布局的具有柯拉照明的冷光源，实现被检面疵病的散射光的反射式成像；表面疵病的散射光经光学显微变焦系统收集并成像于CCD上；被测面为大口径时，计算机控制X、Y移动工作台进行表面的多个子孔径扫描；建立了对疵病图像基于数学形态学的模式识别的数学模型及疵病尺度定标的软件体系。本发明采用了客观的数字化评价系统，对疵病检测的准确度远远高于目视的主观观察；采用了自动化的扫描及数据处理方法，被测件为大口径时，大大提高了检测的工作效率。可以对几个微米以上尺度的表面疵病进行识别分类及定标评价。
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公开(公告)号：CN102645316B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201210121717.2
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种中心遮挡情况下的大口径偏折型径向剪切干涉检测装置及其方法。本发明的技术特点是在传统径向剪切干涉检测方法的基础上，通过提高望远镜系统的剪切率，并利用反射镜在竖直方向的倾斜将缩束光斑移至扩束光斑的边缘区域，使缩束光斑脱离扩束光斑中因目标物遮挡所形成的阴影处形成干涉，实现了有目标物中心遮挡情况下对特定空间区域的径向剪切干涉检测。本发明的优点在于解决了采用传统径向剪切干涉方法无法对含有目标物中心遮挡的区域进行波前检测的难题，同时，由于干涉区域移至扩束光斑边缘，使得干涉图的处理可以采用较为简单的相位解包方法，而非径向剪切波面迭代重构，在一定程度上简化了干涉图的处理过程，缩短了处理时间。
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公开(公告)号：CN102661956B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210122901.9
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提出了一种超光滑表面缺陷检测系统的畸变校正方法。本发明解决了超光滑表面缺陷检测系统中因为存在光学畸变而造成的子图像拼接时的缺陷断裂问题。本发明的技术特点在于，设计了一种超光滑表面缺陷检测系统和畸变校正标准板及标准板的夹持装置，利用检测系统对标准板采集得到暗场畸变图像，通过该畸变图像和计算机按照物面尺寸和像面像素关系重构的标准板理想图像的匹配建立畸变退化模型，并提出一种基于二次极坐标正反变换和二次灰度线性插值的畸变校正方法。本方法能够校正超光滑表面缺陷检测系统中因畸变造成的相邻子图像的拼接错位，同时也适用于校正其他基于图像拼接的大视场光学系统中存在的畸变。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102207378A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110056028.3
申请日：2011-03-09
Applicant: 浙江大学 , 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种球面干涉检测中基于波前差分的高精度调整误差校正方法。本发明解决了高精度球面干涉检测中被测面的倾斜和离焦调整误差难以有效校正的难题。本发明通过干涉仪测得待测球面对应微米量级的两组不同离焦量的原始波面数据，再对该波面数据取差值得到波前差分，根据波前差分的波面拟合对应项系数与离焦项的比值，从原始波面数据中分离出离焦调整误差所引入的高阶像差，最后消去原始波面数据中的常数项、倾斜项、离焦项及其对应高阶像差项，进而实现对倾斜、离焦调整误差的高精度校正。本发明为光学球面，尤其是大数值孔径球面的高精度面形干涉检测提供了一种高精度的调整误差校正方法，并具有极其重要的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN101592478A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200910099785.1
申请日：2009-06-15
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种非球面非零位检测技术中非零补偿镜精密干涉定位方法及调整装置。本发明解决了被测非球面与非零补偿镜难以实现高精度定位的难题。本发明的技术特点在于，利用一辅助的非零补偿镜与消球差补偿镜组组合后形成组合消球差镜组。设计一种可以使非零补偿镜与消球差补偿镜组通过定位结构实现共轴组合和分离的机械结构。组合消球差镜组将非零补偿镜的非共心光束补偿成共心光束，建立一个非球面非零位检测技术中非零补偿镜菲佐型精密干涉定位系统，通过观察干涉条纹形状的变化，利用一可达微米量级定位精度的精密导轨，来判断调整使组合消球差镜组的焦点位于被测非球面的顶点。为非球面非零补偿检测方法提供了一种高精度的定位方法。
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公开(公告)号：CN1648622A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510049076.4
申请日：2005-02-06
Applicant: 浙江大学
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种近红外脉冲波前干涉仪的系统误差标定系统及其方法。它依次具有激光器、双凹透镜、由负透镜、正透镜组成的双分离准直镜。在标定中，利用特定的测量方法来验证本装置所具有的误差，通过实施测量例中严格的数据处理，可以论证本装置波前畸变量远小于1/15波长的均方根值，完全可以作为一个近红外波段的近似理想准直扩束器用于标定脉冲波前畸变检测干涉仪的系统误差。本发明可以对10－150mm口径的近红外高功率脉冲波前畸变检测干涉仪进行系统误差的标定，该方法适用于其它可见光、中、远红外波段的干涉仪的系统误差的标定，为各类干涉仪检测系统的检测可靠性提供了极为有效的标定装置及方法。
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公开(公告)号：CN102645316A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210121717.2
申请日：2012-04-24
Applicant: 浙江大学
IPC: G01M9/06
Abstract: 本发明公开了一种中心遮挡情况下的大口径偏折型径向剪切干涉检测装置及其方法。本发明的技术特点是在传统径向剪切干涉检测方法的基础上，通过提高望远镜系统的剪切率，并利用反射镜在竖直方向的倾斜将缩束光斑移至扩束光斑的边缘区域，使缩束光斑脱离扩束光斑中因目标物遮挡所形成的阴影处形成干涉，实现了有目标物中心遮挡情况下对特定空间区域的径向剪切干涉检测。本发明的优点在于解决了采用传统径向剪切干涉方法无法对含有目标物中心遮挡的区域进行波前检测的难题，同时，由于干涉区域移至扩束光斑边缘，使得干涉图的处理可以采用较为简单的相位解包方法，而非径向剪切波面迭代重构，在一定程度上简化了干涉图的处理过程，缩短了处理时间。
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