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公开(公告)号：CN113614910A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202080022624.7
申请日：2020-03-26
Applicant: 电化株式会社
IPC: H01L23/36 , H01L25/07 , H01L25/18 , C04B35/584
Abstract: 本发明提供氮化硅烧结体的制造方法，其具有对包含氮化硅的原料粉末进行成型并烧成的工序，原料粉末中包含的氮化硅的α化率为30质量％以下。氮化硅烧结体的热导率(20℃)超过100W/m·K，断裂韧性(KIC)为7.4MPa·m1/2以上。
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