气体处理方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108025255A

    公开(公告)日:2018-05-11

    申请号:CN201680053933.4

    申请日:2016-09-16

    CPC classification number: B01D53/14 B01D53/52 B01D53/72 C12P1/04

    Abstract: 本发明提供一种方法,其使除去或浓度降低气体中的硫化氢及氧气的设备小规模化并降低设备成本。利用前段测量部13对含有硫化氢及氧气作为除去或浓度降低对象成分的合成气g中的硫化氢含量及氧含量进行测定。接着,使含有氧化铁的脱硫剂14a与合成气g接触。根据前段测量部13的测定结果,选择进一步执行或者省略或简化由脱氧部16进行的氧除去。

    硅的蚀刻方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101816064A

    公开(公告)日:2010-08-25

    申请号:CN200880109735.0

    申请日:2008-09-26

    CPC classification number: H01L21/3065

    Abstract: 本发明提供一种硅的蚀刻方法,其课题在于,使硅的蚀刻速度提高。其中,在氟系原料的CF4和Ar的混合气体中添加露点成为10℃~40℃的量的水,在大气压下进行等离子体化。将等离子体化后的气体和来自臭氧发生器13的含有臭氧的气体混合,得到反应气体。反应气体包含1vol%以上的臭氧、COF2等非自由基氟系中间物质和0.4vol%以上的HF等氟系反应物质,氟原子数(F)和氢原子数(H)的比为(F)/(H)>1.8。将该反应气体喷射到温度10℃~50℃的硅膜91(被处理物)上。

    蚀刻方法及装置及被处理物

    公开(公告)号:CN101617393A

    公开(公告)日:2009-12-30

    申请号:CN200880005459.3

    申请日:2008-02-20

    CPC classification number: H01L21/6708 H01L21/67069 H01L29/66765

    Abstract: 本发明的抑制硅蚀刻中的处理不均,条均一性。在大致大气压下,从喷出口41向被处理物10喷出含有氟化氢和臭氧的处理气体,同时,使包括喷出口41的处理头39相对于被处理物10在左右往返或单程移动,蚀刻在被处理物10的表面形成的硅。以使在被处理物10的表面上形成的凝结层18的厚度t成为规定厚度以下的方式将所述移动速度设定为规定以上,优选设定为3~4m/分钟以上。

    有机物质的制造装置以及气体处理系统

    公开(公告)号:CN111936610A

    公开(公告)日:2020-11-13

    申请号:CN201980021808.9

    申请日:2019-03-20

    Inventor: 石井彻哉

    Abstract: 本发明提供一种可以防止对有机物质进行纯化的纯化部中发生起泡,从而高收率得到有机物质的有机物质的制造装置以及具有该有机物质的制造装置的气体处理系统。本发明的有机物质的制造装置,其具有:发酵槽4,其通过微生物的发酵作用由气体生成有机物质,以及分离部5,其将从所述发酵槽4排出的废液分离为第一液体和第二液体,所述第一液体含有包含所述微生物的固体物质以及所述有机物质,所述第二液体含有所述有机物质,且所述固体物质含量比所述第一液体少;蒸发部6,其从所述第一液体蒸发出含有所述有机物质的液性成分;以及有机物质纯化部7,其从所述第二液体以及通过所述蒸发部气化而得到的所述液性成分中纯化出所述有机物质。

    气体处理方法及装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108025254A

    公开(公告)日:2018-05-11

    申请号:CN201680053913.7

    申请日:2016-09-16

    Abstract: 本发明能够使除去气体中的硫化氢及氧的设备小规模化并降低设备成本。交替执行第一模式和第二模式,所述第一模式使含有硫化氢及氧作为除去或浓度降低对象成分的合成气g与含有第一过渡金属的物质41接触,然后,与含有第二过渡金属的物质42接触;所述第二模式使合成气g与含有第二过渡金属的物质42接触,然后,与含有第一过渡金属的物质41接触。第一模式中,含有第一过渡金属的物质41的氧化铁与硫化氢反应,成为可以与氧进行反应的硫化铁。且含有第二过渡金属的物质42的硫化铁与氧反应,成为可以与硫化氢反应的氧化铁。第二模式中,含有第二过渡金属的物质42的氧化铁与硫化氢反应而成为硫化铁,且含有第一过渡金属的物质41的硫化铁与氧反应而成为氧化铁。

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