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公开(公告)号：CN103175638B
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201210558600.0
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器器件及其制造方法、传感器模块、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于所述封装；以及盖体，其对所述封装进行密封，所述传感器元件具有供所述盖体接触的接触面，所述封装具有供所述盖体接合的接合面，所述接触面与所述接合面不位于同一平面。
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公开(公告)号：CN103175638A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210558600.0
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器器件及其制造方法、传感器模块、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于所述封装；以及盖体，其对所述封装进行密封，所述传感器元件具有供所述盖体接触的接触面，所述封装具有供所述盖体接合的接合面，所述接触面与所述接合面不位于同一平面。
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公开(公告)号：CN103994845B
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201410053005.0
申请日：2014-02-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供小型且降低了输出漂移的力检测装置、使用了该力检测装置的机械手以及移动体。力检测装置（1a）具备根据接受的外力来输出电荷Q的电荷输出元件（10a）；具有第一开关元件（23）和第一电容器（22），且将电荷Q转换为电压V并输出上述电压的转换输出电路（20）；具有第二开关元件（33）和第二电容器（32），并输出补偿用信号Voff的补偿用信号输出电路（30）；以及基于从转换输出电路（20）输出的电压V和从补偿用信号输出电路（30）输出的补偿用信号Voff，来检测外力的外力检测电路（40a）。第二电容器（32）的静电容量比第一电容器（22）的静电容量小。
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公开(公告)号：CN103308221A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310072538.9
申请日：2013-03-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , G01L5/167 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器模块、力检测装置以及机器人。传感器模块具备：第一部件，其具有：供具备电极的压电体元件配置的第一凹部；与第一部件接合的第二部件；与第二部件接触的第一板；与第一部件接触的第二板；以及紧固第一板以及第二板的紧固部，第一板形成有朝向第二部件突出的第一凸部，第一部件的第一凹部的内部高度比压电体元件高，压电体元件与第二部件接触。
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公开(公告)号：CN106092421A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610570110.0
申请日：2012-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器器件、传感器模块、机器人。传感器器件具备：封装；传感器元件，其配置于所述封装；以及盖体，其对所述封装进行密封，所述传感器元件具有供所述盖体接触的接触面，所述封装具有供所述盖体接合的接合面，所述接触面与所述接合面不位于同一平面，所述传感器元件是通过板状基板层积而成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104596678A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410583871.0
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。所述力检测装置具备：第一基部；第二基部；元件，其被设置在第一基部与第二基部之间，根据外力来输出电荷；转换电路，其将从元件输出的电荷转换为电压；补偿用转换电路，其对转换电路进行温度补偿；温度传感器，其检测转换电路的温度；以及外力运算电路，其根据温度传感器的检测结果、从转换电路输出的电压、和从补偿用转换电路输出的电压来运算外力。
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公开(公告)号：CN102651640A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201210045730.4
申请日：2012-02-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/02 , G01C19/5621 , H03H9/02102 , H03H9/0552 , H03H9/10 , H03H9/1014 , H03H9/19 , H03H9/215 , H03H2003/0407
Abstract: 本发明涉及一种压电振动元件、具有压电振动元件的压电装置及电子设备。压电基板(7)具有：振动臂(15a)、(15b)；对振动臂的一侧端部之间进行连接的基部(10)；分别被形成在振动臂(15a)、(15b)的另一侧端部，宽度较宽且形成了第一槽部(22a)～(24b)的锤部(20a)、(20b)；沿着振动臂(15a)、(15b)的振动中心线而被形成的第二槽部(17a)～(18b)，其中，弯曲-扭曲结合振动被激励。本发明的压电振动元件(1)以被激励的弯曲-扭曲结合振动中的弯曲振动为主振动，并分别设定压电基板(7)的切割角度、第一槽部以及第二槽部的宽度和深度、以及振动臂的厚度，以使其频率温度特性成为关于温度的三次特性。
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公开(公告)号：CN104596676B
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201410583846.2
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、以及使用了该力检测装置的机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置。所述力检测装置具备第一基部、将根据外力而输出的电荷转换为电压并根据电压来检测外力的第一元件以及第二元件、以及与第一基部之间至少设置第一元件以及第二元件的第二基部。第一元件以及第二元件以相对于第一基部和第二基部倾斜或者垂直的方式配置，具有根据外力而输出的电荷的极化轴，并被配置成第一元件输出的电荷的极化轴与第二元件输出的电荷的极化轴彼此朝向相反方向。
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公开(公告)号：CN103308221B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201310072538.9
申请日：2013-03-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , G01L5/167 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器模块、力检测装置以及机器人。传感器模块具备：第一部件，其具有：供具备电极的压电体元件配置的第一凹部；与第一部件接合的第二部件；与第二部件接触的第一板；与第一部件接触的第二板；以及紧固第一板以及第二板的紧固部，第一板形成有朝向第二部件突出的第一凸部，第一部件的第一凹部的内部高度比压电体元件高，压电体元件与第二部件接触。
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公开(公告)号：CN104596676A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410583846.2
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及力检测装置、以及使用了该力检测装置的机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置及部件加工装置。所述力检测装置具备第一基部、将根据外力而输出的电荷转换为电压并根据电压来检测外力的第一元件以及第二元件、以及与第一基部之间至少设置第一元件以及第二元件的第二基部。第一元件以及第二元件以相对于第一基部和第二基部倾斜或者垂直的方式配置，具有根据外力而输出的电荷的极化轴，并被配置成第一元件输出的电荷的极化轴与第二元件输出的电荷的极化轴彼此朝向相反方向。
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