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公开(公告)号:CN100390598C
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN200510097900.3
申请日:2005-09-02
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G02B26/0808
Abstract: 本发明公开了一种衍射光栅光调制器,其包括在衬底上形成的多个衍射光栅光调制元件,每一衍射光栅光调制元件包括:下部电极、支撑于下部电极之上的类似带状的固定电极和可移动电极、以及电连接于可移动电极的暴露的连接端子(用于与外部电路电连接),在向下部电极施加电压的同时,所述固定电极和可移动电极构成了一个衍射光栅,所述衍射光栅光调制器具有围绕所述连接端子的保护电极,使得所述衍射光栅光调制元件确定能够避免受到静电的损坏。
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公开(公告)号:CN1743892A
公开(公告)日:2006-03-08
申请号:CN200510097900.3
申请日:2005-09-02
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G02B26/0808
Abstract: 本发明公开了一种衍射光栅光调制器,其包括在衬底上形成的多个衍射光栅光调制元件,每一衍射光栅光调制元件包括:下部电极、支撑于下部电极之上的类似带状的固定电极和可移动电极、以及电连接于可移动电极的暴露的连接端子(用于与外部电路电连接),在向下部电极施加电压的同时,所述固定电极和可移动电极构成了一个衍射光栅,所述衍射光栅光调制器具有围绕所述连接端子的保护电极,使得所述衍射光栅光调制元件确定能够避免受到静电的损坏。
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