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公开(公告)号：CN1743892A
公开(公告)日：2006-03-08
申请号：CN200510097900.3
申请日：2005-09-02
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G02B26/0808
Abstract: 本发明公开了一种衍射光栅光调制器，其包括在衬底上形成的多个衍射光栅光调制元件，每一衍射光栅光调制元件包括：下部电极、支撑于下部电极之上的类似带状的固定电极和可移动电极、以及电连接于可移动电极的暴露的连接端子(用于与外部电路电连接)，在向下部电极施加电压的同时，所述固定电极和可移动电极构成了一个衍射光栅，所述衍射光栅光调制器具有围绕所述连接端子的保护电极，使得所述衍射光栅光调制元件确定能够避免受到静电的损坏。
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公开(公告)号：CN1720193A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200380105115.7
申请日：2003-11-25
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/2405 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明公开了一种微机械，用于高频滤波器，其具有高Q值且适用于高频段。微机械(1)包括：输出电极(7)，形成于衬底(5)上；层间绝缘膜(9)，其覆盖衬底(5)且包括开口(9a)，开口的底部是输出电极(7)；和带状谐振器电极(11)，形成于层间绝缘膜(9)以在上面横跨开口(9a)中的空间(A)，而谐振器电极(11)沿开口(9a)的侧壁向开口(9a)凹入。
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公开(公告)号：CN100402411C
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200380105115.7
申请日：2003-11-25
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H3/0072 , H03H9/2405 , H03H2009/02511
Abstract: 本发明公开了一种微机械，用于高频滤波器，其具有高Q值且适用于高频段。微机械(1)包括：输出电极(7)，形成于衬底(5)上；层间绝缘膜(9)，其覆盖衬底(5)且包括开口(9a)，开口的底部是输出电极(7)；和带状谐振器电极(11)，形成于层间绝缘膜(9)以在上面横跨开口(9a)中的空间(A)，而谐振器电极(11)沿开口(9a)的侧壁向开口(9a)凹入。
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公开(公告)号：CN100390598C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200510097900.3
申请日：2005-09-02
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: G02B26/0808
Abstract: 本发明公开了一种衍射光栅光调制器，其包括在衬底上形成的多个衍射光栅光调制元件，每一衍射光栅光调制元件包括：下部电极、支撑于下部电极之上的类似带状的固定电极和可移动电极、以及电连接于可移动电极的暴露的连接端子(用于与外部电路电连接)，在向下部电极施加电压的同时，所述固定电极和可移动电极构成了一个衍射光栅，所述衍射光栅光调制器具有围绕所述连接端子的保护电极，使得所述衍射光栅光调制元件确定能够避免受到静电的损坏。
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