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公开(公告)号：CN102713722A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080060757.X
申请日：2010-12-24
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 该振动反射镜元件（100）具有：反射镜部（10）；第一驱动部（41），其形成为悬臂梁状，包括形成在第一方向上的一侧的第一固定端（41a）和形成在另一侧的第一自由端（41b），而且延伸成直线状；第一反射镜支撑部（46），其能够以使反射镜部（10）倾斜的状态支撑该反射镜部（10）；第二驱动部（51），其形成为悬臂梁状，并且包括形成在第一方向上的另一侧的第二固定端（51a）和形成在一侧的第二自由端（51b），与第一驱动部具有以反射镜的中心为对称点而点对称的关系；第二反射镜支撑部（56），其与第一反射镜支撑部具有以反射镜的中心为对称点而点对称的关系，并且能够以使反射镜部倾斜的状态支撑该反射镜部。
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公开(公告)号：CN102695978A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201080059806.8
申请日：2010-12-20
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/0858 , G02B26/101
Abstract: 提供能够抑制在支撑部上产生弯曲变形的振动反射镜元件。该振动反射镜元件（100）具有反射镜部（10）、能够变形的驱动部（41、43、45、51、53、55）以及在一侧端部（42a、44a、46a、52a、54a、56a）侧与驱动部的一侧连接部（41c、43d、45d、51c、53d、55d）相连接的支撑部（42、44、46、52、54、56），并且支撑部的厚度大于驱动部的厚度。
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公开(公告)号：CN101750735B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN200910261591.7
申请日：2009-12-15
Applicant: 船井电机株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 本振动镜部件包括反射光线的镜面部分、与镜面部分连接用于以能振动的方向支承镜面部分的可扭转变形的梁部分、以及具有与梁部分连接的连接部分以通过可扭转变形的梁部分来驱动镜面部分的驱动部分。使在平面图中驱动部分的连接部分的宽度小于驱动部分除了连接部分之外的部分的宽度。
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公开(公告)号：CN101750735A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910261591.7
申请日：2009-12-15
Applicant: 船井电机株式会社
IPC: G02B26/10
CPC classification number: G02B26/0841
Abstract: 本振动镜部件包括反射光线的镜面部分、与镜面部分连接用于以能振动的方向支承镜面部分的可扭转变形的梁部分、以及具有与梁部分连接的连接部分以通过可扭转变形的梁部分来驱动镜面部分的驱动部分。使在平面图中驱动部分的连接部分的宽度小于驱动部分除了连接部分之外的部分的宽度。
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公开(公告)号：CN101008704A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200610142819.7
申请日：2006-10-26
Applicant: 船井电机株式会社 , 国立大学法人京都大学
Abstract: 一种可变形镜，具有：基板；形成于基板上的下部电极膜；形成于下部电极膜上的压电膜；形成于压电膜上的上部电极膜；和镜膜，其直接形成于基板上，并且设置为由下部电极膜、压电膜、和上部电极膜所构成的驱动部包围。该镜膜设置在基板中所设置的可动部上，并且驱动部的至少一部分设置在该可动部上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102695978B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201080059806.8
申请日：2010-12-20
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , G02B26/0858 , G02B26/101
Abstract: 提供能够抑制在支撑部上产生弯曲变形的振动反射镜元件。该振动反射镜元件（100）具有反射镜部（10）、能够变形的驱动部（41、43、45、51、53、55）以及在一侧端部（42a、44a、46a、52a、54a、56a）侧与驱动部的一侧连接部（41c、43d、45d、51c、53d、55d）相连接的支撑部（42、44、46、52、54、56），并且支撑部的厚度大于驱动部的厚度。
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公开(公告)号：CN101630063B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200910160459.7
申请日：2009-07-15
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , B81B3/004 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , G02B26/101 , H04N1/1017 , H04N1/193 , H04N2201/0428 , H04N2201/0458
Abstract: 一种振动镜元件，该振动镜元件包括：底座部件；由镜子部、从两侧将镜子部支撑成能摆动并作为下部电极起作用的可动部、支撑可动部并安装于底座部件的安装部一体形成的金属形成的基板；设置在基板的可动部上、并通过对其施加周期性的电压而使镜子部振动的压电膜；以及设置在压电膜上的上部电极。
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公开(公告)号：CN101630063A
公开(公告)日：2010-01-20
申请号：CN200910160459.7
申请日：2009-07-15
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , B81B3/004 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , G02B26/101 , H04N1/1017 , H04N1/193 , H04N2201/0428 , H04N2201/0458
Abstract: 一种振动镜元件，该振动镜元件包括：底座部件；由镜子部、从两侧将镜子部支撑成能摆动并作为下部电极起作用的可动部、支撑可动部并安装于底座部件的安装部一体形成的金属形成的基板；设置在基板的可动部上、并通过对其施加周期性的电压而使镜子部振动的压电膜；以及设置在压电膜上的上部电极。
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公开(公告)号：CN101162593A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200710180144.X
申请日：2007-10-10
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G11B7/13925 , G02B26/06 , G02B26/0825 , G11B7/1362
Abstract: 一种可变形镜，其包括：基板；下电极膜，其设置在基板上；压电膜，其设置在下电极膜上；上电极膜，其设置在压电膜上；绝缘膜，其设置在上电极膜上；以及镜膜，其设置在绝缘膜上。下电极膜、压电膜和上电极膜作为驱动部以使镜膜变形。上电极膜被分成多个分割电极，并且驱动部包括执行镜膜的主要变形的部分和执行镜膜的变形的微调的部分。
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公开(公告)号：CN101008705A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200610142820.X
申请日：2006-10-26
Applicant: 船井电机株式会社 , 国立大学法人京都大学
Abstract: 一种可变形镜，包括：驱动部，其包括压电膜、将该压电膜夹在中间的第一和第二电极膜；基板，其形成于第一电极膜上以便支撑驱动部。当驱动部受到驱动时，镜膜的形状变化。该基板由至少一种选自Si、SiO2和MgO的材料形成。该压电膜由锆钛酸铅或由含有Nb的且与锆钛酸铅同类的钙钛矿氧化物形成。第一电极膜由多个具有不同成分的层形成；并且在这些层中，形成于基板上的一个层为由包含至少一种选自Ti、Cr和W的元素的成分构成的金属层；并且形成于压电膜上的一个层为由包含至少一种选自Pt、Ir和Ru的元素的成分构成的金属层。
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