可变形镜的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101122681A

    公开(公告)日:2008-02-13

    申请号:CN200710141393.8

    申请日:2007-08-09

    CPC classification number: G11B7/13927 G02B26/0825 G11B7/1362

    Abstract: 本发明提供一种适合于大批量生产的可变形镜的制造方法,该方法包括如下步骤:在该支撑基板(2)上叠置具有类似梳齿状的凸条部分(41b,42b)的一对夹具(41,42),使得所述凸条部分彼此正交;并且将所述支撑柱(5)和压电元件(4)插入至由所述凸条部分(43)之间的间隙所形成的通孔部分;以及将所述镜基板(3)放置在所述支撑柱和所述压电元件上;分别将所述支撑基板与所述支撑柱、所述支撑基板与所述压电元件以及所述镜基板与所述支撑柱彼此接合;在与该凸条部分的凸出方向相反的方向上抽出所述夹具;以及在反射镜基板的外表面上形成反射膜。

    可变形镜以及具有该镜的光学拾取装置

    公开(公告)号:CN101008705A

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200610142820.X

    申请日:2006-10-26

    Abstract: 一种可变形镜,包括:驱动部,其包括压电膜、将该压电膜夹在中间的第一和第二电极膜;基板,其形成于第一电极膜上以便支撑驱动部。当驱动部受到驱动时,镜膜的形状变化。该基板由至少一种选自Si、SiO2和MgO的材料形成。该压电膜由锆钛酸铅或由含有Nb的且与锆钛酸铅同类的钙钛矿氧化物形成。第一电极膜由多个具有不同成分的层形成;并且在这些层中,形成于基板上的一个层为由包含至少一种选自Ti、Cr和W的元素的成分构成的金属层;并且形成于压电膜上的一个层为由包含至少一种选自Pt、Ir和Ru的元素的成分构成的金属层。

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