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公开(公告)号:CN113711378A
公开(公告)日:2021-11-26
申请号:CN202080030224.0
申请日:2020-04-22
Applicant: AGC株式会社
Inventor: 渡边晓 , 户田喜丈 , 增茂邦雄 , 石桥奈央 , 中村伸宏 , 森田晋平 , 小林光
IPC: H01L51/50
Abstract: 一种纳米粒子的集合体,是由金属氧化物构成的纳米粒子的集合体,各纳米粒子包含锌(Zn)和硅(Si),以原子数比计Zn/(Zn+Si)为0.3~0.95,换算成圆的粒径为1nm~20nm的范围。