-
公开(公告)号：CN101937169B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201010221202.0
申请日：2010-06-30
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供能够通过良好的浸湿来形成均匀抗蚀膜的光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法以及涂布装置。本发明所述的光掩模坯料的制造方法包括：利用涂布装置所具备的喷嘴(22)的毛细管现象使抗蚀液(21)上升，使上升后的抗蚀液(21)浸湿基板(10)的朝向下方的被涂布面(10a)，并使喷嘴(22)和基板(10)相对移动而在被涂布面(10a)形成抗蚀膜，其中，当进行浸湿时，使喷嘴的一端比另一端更接近被涂布面，由此使所述喷嘴内的所述涂布液在所述喷嘴的一端最初浸湿被涂布面，并以所述最初浸湿的点作为浸湿起点，遍及一定长度的喷嘴的全长进行浸湿作业。
-
公开(公告)号：CN102207682A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110076398.3
申请日：2011-03-28
Applicant: HOYA株式会社
Inventor： 松本浩治
Abstract: 本发明提供能够更为迅速、均匀地对利用具有毛细管状间隙的喷嘴涂布了抗蚀液的被涂布面进行干燥的抗蚀剂涂布方法和抗蚀剂涂布装置、以及使用该抗蚀剂涂布方法的光掩模底版和光掩模的制造方法。本发明的抗蚀剂涂布方法是向被涂布面10a朝向下方的状态的基板10涂布抗蚀液的方法，在该方法中，将积存在液槽中的抗蚀液利用喷嘴24的毛细管现象引导至被涂布面与被涂布面10a进行接液、使喷嘴24与基板10在水平方向相对移动，从而将抗蚀液110涂布至被涂布面10a；对于被涂布面10a供给在一定方向上相对流速大致恒定并与被涂布面10a平行的气流，使气流与经涂布的抗蚀液110相接触，从而对经涂布的抗蚀液110进行干燥。
-
公开(公告)号：CN101937169A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010221202.0
申请日：2010-06-30
Applicant: HOYA株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供能够通过良好的浸湿来形成均匀抗蚀膜的光掩模坯料的制造方法、光掩模的制造方法以及涂布装置。本发明所述的光掩模坯料的制造方法包括：利用涂布装置所具备的喷嘴(22)的毛细管现象使抗蚀液(21)上升，使上升后的抗蚀液(21)浸湿基板(10)的朝向下方的被涂布面(10a)，并使喷嘴(22)和基板(10)相对移动而在被涂布面(10a)形成抗蚀膜，其中，当进行浸湿时，使喷嘴的一端比另一端更接近被涂布面，由此使所述喷嘴内的所述涂布液在所述喷嘴的一端最初浸湿被涂布面，并以所述最初浸湿的点作为浸湿起点，遍及一定长度的喷嘴的全长进行浸湿作业。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.015 seconds)
