公开(公告)号：CN102628804A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN201210020423.0

申请日：2012-01-29

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 石川晋 ,  园田恒彦 ,  饭塚隆之 ,  田中淳一 ,  吉田光一郎

IPC: G01N21/59 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明提供-种透射率测定装置和透射率测定方法，能够抑制由于内部反射光而导致的误差并高精度地对测定对象区域的透射率进行测定。透射率测定装置由以下部件构成：光源装置，其射出被检光；第-光学系统，其会聚该被检光并在测定对象上形成点；第二光学系统，其对透射过测定对象的被检光进行会聚，形成点的共轭像；光圈，其配置在共轭像的形成位置附近；以及光检测单元，其对透射过光圈的被检光进行检测。

公开(公告)号：CN102628804B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201210020423.0

申请日：2012-01-29

Applicant: HOYA株式会社

Inventor： 石川晋 ,  园田恒彦 ,  饭塚隆之 ,  田中淳一 ,  吉田光一郎

IPC: G01N21/59 ,  G01M11/02

Abstract: 本发明提供?种透射率测定装置和透射率测定方法，能够抑制由于内部反射光而导致的误差并高精度地对测定对象区域的透射率进行测定。透射率测定装置由以下部件构成：光源装置，其射出被检光；第?光学系统，其会聚该被检光并在测定对象上形成点；第二光学系统，其对透射过测定对象的被检光进行会聚，形成点的共轭像；光圈，其配置在共轭像的形成位置附近；以及光检测单元，其对透射过光圈的被检光进行检测。