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公开(公告)号：CN104325458A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410663724.4
申请日：2014-11-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J9/00
Abstract: 一种柔性并联平台装置，它涉及一种并联平台装置。本发明为了解决现有柔性铰链在微操作环境下，无法实现高精度和更大工作空间要求的问题。本发明的包括隔震平台(1)、上平台(2)、六维力传感器(3)、三根柔性支链(4)和三组平台组件(5)，三组平台组件(5)安装在隔震平台(1)上，上平台(2)位于三组平台组件(5)的上方，每组平台组件(5)与上平台(2)的下端面之间通过一根柔性支链(4)连接，六维力传感器(3)安装在上平台(2)的上端，每组平台组件(5)均包括底座(5-1)和压电驱动电机(5-2)，底座(5-1)安装在压电驱动电机(5-2)的上端。本发明用于机器人微操作。
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公开(公告)号：CN102623375B
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201210068623.3
申请日：2012-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677 , F16H37/02 , F16H25/22
CPC classification number: F16H25/20 , F16H25/2204 , F16H2025/2053 , F16H2025/2096
Abstract: 一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构，它涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域，以解决现有Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形的问题。上安装盖与下安装座上下正对设置，Z轴驱动装置组件与下安装座连接，预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上，预紧轮支撑架与下安装座连接，三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间，同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上，同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上，三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接，下深沟球轴承安装在下安装座的下轴承安装孔内，上深沟球轴承安装在上轴承安装孔内。本发明用于硅片传输机器人上。
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公开(公告)号：CN103011069B
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201210539659.5
申请日：2012-12-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 一种粘滑式旋转定位装置，本发明涉及一种旋转定位装置，具体涉及一种粘滑式旋转定位装置，本发明为了解决目前旋转定位装置不能应用在超低温、超真空、高电场或高磁场等工作场所，且现有技术中的旋转定位装置体积大，定位误差大的问题，所述装置包括旋转单元、驱动单元和底座，旋转单元包括第一旋转半圆台和第二旋转半圆台，驱动单元包括驱动弹性台和驱动转板，底座包括基台和压电陶瓷驱动器，驱动弹性台上端面加工有多组柔性铰链，驱动弹性台底端面设有叉形结构，叉形结构的底部设有驱动转板，旋转单元设置在驱动弹性台顶部，驱动弹性台设置在基台上，压电陶瓷驱动器设置在基台内，本发明用于微纳操作试验研究中。
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公开(公告)号：CN102501227B
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201110393208.0
申请日：2011-12-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25J7/00
Abstract: 基于差动杠杆原理的柔性铰链定位装置，它涉及一种大行程高分辨率微驱动定位装置，以克服现有柔性铰链定位平台存在大行程下高分辨率较难达到的缺点。第一杠杆、第二杠杆、第一输入平台、第二输入平台和输出平台均设置在杠杆致动腔内，第一杠杆与杠杆壳体内壁通过第一柔性铰链连接，第一输入平台与第一杠杆通过第二柔性铰链连接，第二杠杆与第一输入平台通过第三柔性铰链连接，第二输入平台与第二杠杆通过第四柔性铰链连接，输出平台与第二杠杆通过第五柔性铰链连接，输出平台与杠杆壳体内壁通过第六柔性铰链和两个第七柔性铰链连接，第一致动器驱动第一输入平台，第二致动器驱动第二输入平台。本发明用于亚毫米级运动行程的精密定位。
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公开(公告)号：CN102290360B
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201110062776.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种旋转角度大于1000°的T轴旋转限位结构包括T轴限位上联接盘1、一级拨榫机构组合2、一级旋转限位拨盘3、二级拨榫机构组合4、上轴承5、轴承隔套6、旋转轴7、下轴承8、二级旋转限位拨盘9、限位套10、限位块11、联接螺钉12等。完成装配后，T轴限位机构旋转的总角度达1010°，以适应集成度要求更高、能够满足多角度、多工位进行硅片传输的T轴限位旋转机构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103267481A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310203134.9
申请日：2013-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种保偏光纤偏振轴的检测装置，本发明涉及一种保偏光纤偏振轴的检测装置，本发明为解决目前采用激光反射干涉法检测偏振轴方位时需要人工观察干涉条纹的变化情况，存在检测效率低、精度低、无法满足高精度保偏光纤耦合器制造要求的问题。直线电动位移平台的下端固接在工作平台的上端面上，显微镜支架固接在直线电动位移平台上，紧固板套装在直角显微镜的外壁上，直角显微镜通过紧固板固定在显微镜固定架的侧壁上，CM0S相机安装在直角显微镜上，光纤夹具安装在光纤夹具连接板上，显微视觉检测单元和卤素光源固定架相对放置，两个光纤旋转单元相对放置，两个相对平行设置的光纤夹具将保偏光纤固定。本发明用于保偏光纤偏振轴的检测。
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公开(公告)号：CN102176424B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110062759.9
申请日：2011-03-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种结构合理，能够方便、可靠地调整双臂机械手FORK圆心重合的方法。方法通过FORK圆心基准试验台提供确定的双臂FORK圆心基准，通过FORK调整夹头来对FORK组合中的圆心进行调整。经过调整，当T轴处于零位时，可使双臂机械手末端FORK的圆心在R轴各自的旋转平面内上下重合，从而为双臂机械手运动轨迹提供了原始定位基准。
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公开(公告)号：CN103092346A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310012630.6
申请日：2013-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F3/01
Abstract: 一种基于扫描电子显微镜的虚拟力反馈遥纳操作平台及实现虚拟力觉交互的方法，涉及一种基于显微镜的虚拟力反馈遥纳操作平台及方法。它解决了目前国内外普遍采用的纳米操作系统对纳米粒子或构件进行操作缺乏操作过程实时的图像信息，系统的操作效率低、灵活性差的问题。该平台包括扫描电子显微镜、纳米定位器、操作探针、样品台、触觉主手Omega.3、纳米定位控制器、上位机和样本腔体；在VC++2008环境下，开发虚拟三维纳米操作环境；通过碰撞检测算法进行碰撞检测；上位机对所获得反馈力进行力觉渲染，并反馈到触觉主手Omega.3，实现虚拟力觉交互。本发明适用于遥纳操作技术领域。
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公开(公告)号：CN103033296A
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：CN201210589604.5
申请日：2012-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 基于MEMS的二维压阻式微力传感器，它涉及一种微力传感器。该传感器解决目前一维微力传感器无法同时检测操作工具与基底之间接触力及操作工具与操作对象之间作用力的问题。检测直梁侧壁的两端各设一个第一压阻，二个半折叠梁沿外伸梁的中心轴线对称设置且第一直梁的另一端与外伸梁连接，外伸梁的一端与检测直梁中部的侧壁连接且二者垂直设置，外伸梁的另一端作为自由端穿过第一直梁、第一通孔和第二通孔设在固定支架的外部，检测直梁、外伸梁和二个半折叠梁连接制成一体，外伸梁沿其长度方向开有应力方孔，外伸梁上表面设有两个第二压阻，每个第二压阻位于应力方孔的孔壁与外伸梁的外侧壁之间。本发明用于微纳米操作。
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公开(公告)号：CN103011069A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210539659.5
申请日：2012-12-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B82B3/00
Abstract: 本发明涉及一种旋转定位装置，具体涉及一种粘滑式旋转定位装置，本发明为了解决目前旋转定位装置不能应用在超低温、超真空、高电场或高磁场等工作场所，且现有技术中的旋转定位装置体积大，定位误差大的问题，所述装置包括旋转单元、驱动单元和底座，旋转单元包括第一旋转半圆台和第二旋转半圆台，驱动单元包括驱动弹性台和驱动转板，底座包括基台和压电陶瓷驱动器，驱动弹性台上端面加工有多组柔性铰链，驱动弹性台底端面设有叉形结构，叉形结构的底部设有驱动转板，旋转单元设置在驱动弹性台顶部，驱动弹性台设置在基台上，压电陶瓷驱动器设置在基台内，本发明用于微纳操作试验研究中。
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