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公开(公告)号：CN100411968C
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN03165014.7
申请日：2003-09-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: H01L41/45 , B81B2201/0257 , B81B2201/032 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81C1/00182 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H04R1/406 , H04R17/02 , H04R2420/07
Abstract: 本发明公开柔性MEMS换能器及其制造方法、以及柔性MEMS无线扩音器。一种柔性无线MEMS扩音器，包括：柔性聚合物材料的衬底，在衬底上通过PECVD形成的柔性MEMS换能器结构，在衬底上印制的天线、用于与外界源通信，在衬底中嵌入的导线和接口电路以便电连接柔性MEMS换能器和天线，电连接到衬底的柔性电池层、用于将电源提供到MEMS换能器，以及电连接到电池层的柔性蓝牙模块层。柔性MEMS换能器包括：柔性衬底，在衬底上沉积的薄膜层，在薄膜层上形成的下电极层，在下电极层上通过沉积压电聚合物形成的有源层，在有源层上形成的上电极层，以及分别电连接到下电极层和上电极层的第一和第二连接焊盘。
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公开(公告)号：CN100345187C
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200410071321.7
申请日：2004-07-19
Applicant: 三星电子株式会社
Inventor： 南润宇
CPC classification number: G11B5/855 , Y10T428/2457 , Y10T428/2462
Abstract: 公开一种具有极度平坦化表面的图案化的磁记录介质及其制造方法。该介质包括：图案化层，包括设置成其间具有预定节距的多个磁柱和填充在图案化层的磁柱的间隙中的边界层；和支撑图案化层的衬底。于是，在磁性层上方产生因稳定气流形成的空气轴承，并且容易实现超高密度的磁记录/复制。
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公开(公告)号：CN1822154A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200510117761.6
申请日：2005-11-10
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G11B9/1409 , B82Y10/00 , G11B5/3106 , G11B5/3116
Abstract: 本发明提供了一种探针头和制造该探针头的方法。该探针头包括传感器单元，该传感器单元具有：传感器，其在预定的记录介质上记录数据或从预定的记录介质读取数据；第一屏蔽和第二屏蔽，以相互间预定的距离置于传感器的两侧；第一中间层和第二中间层，分别位于传感器和第一屏蔽之间以及传感器和第二屏蔽之间。该方法包括：提供基板；在基板上形成绝缘层；在绝缘层上形成第一屏蔽；在第一屏蔽上形成第一中间层；在第一中间层上形成传感器；在传感器上形成第二中间层；在第二中间层上形成第二屏蔽；在第二屏蔽上形成保护层。因此，可同时改进探针头的分辨能力和灵敏度，且可易于制造该探针头。
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公开(公告)号：CN1262470C
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN03165013.9
申请日：2003-09-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00142 , B81B2201/0257 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H01L41/45
Abstract: 本发明提供一种柔性MEMS换能器的制造方法，包括：在柔性衬底上形成牺牲层；通过PECVD在牺牲层上依次沉积薄膜层、下电极层、有源层和上电极层；对上电极层、有源层、和下电极层依次进行图形化；沉积上保护层以覆盖上电极层、下电极层和有源层；对连接到下电极层和上电极层的上保护层进行图形化，然后沉积连接焊盘层并对连接焊盘层进行图形化以形成连接到下电极层的第一连接焊盘和连接到上电极层的第二连接焊盘；以及对薄膜层进行图形化以露出牺牲层并去除牺牲层。
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