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公开(公告)号:CN1250923A
公开(公告)日:2000-04-19
申请号:CN99120590.1
申请日:1999-10-09
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G06K9/00798 , B60Q9/008 , G01S13/931 , G01S2013/9353 , G06K9/4604
Abstract: 一种道路模型化方法。该模型化方法将道路模型化为一系列矩形块相互连接起来的结构,这种模型化结构用下述矩阵方程表示:Pi=[wi liαiβiγi]T,其中,假定车辆位于某一矩形块Pi的底边的中央,该矩形块Pi宽为wi,长为li,Zi轴是车辆的行驶方向,Xi轴垂直于车辆行驶方向,Yi轴垂直于矩形块Pi,βi和αi是矩形块Pi的Xi和Zi轴分别相对于紧接在该矩形块之前的矩形块P(i-1)的X(i-1)和Z(i-1)轴的偏差角,γi是垂直于道路的Yi轴与垂直于车辆的方向间的偏差角。
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公开(公告)号:CN100411968C
公开(公告)日:2008-08-20
申请号:CN03165014.7
申请日:2003-09-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: H01L41/45 , B81B2201/0257 , B81B2201/032 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81C1/00182 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H04R1/406 , H04R17/02 , H04R2420/07
Abstract: 本发明公开柔性MEMS换能器及其制造方法、以及柔性MEMS无线扩音器。一种柔性无线MEMS扩音器,包括:柔性聚合物材料的衬底,在衬底上通过PECVD形成的柔性MEMS换能器结构,在衬底上印制的天线、用于与外界源通信,在衬底中嵌入的导线和接口电路以便电连接柔性MEMS换能器和天线,电连接到衬底的柔性电池层、用于将电源提供到MEMS换能器,以及电连接到电池层的柔性蓝牙模块层。柔性MEMS换能器包括:柔性衬底,在衬底上沉积的薄膜层,在薄膜层上形成的下电极层,在下电极层上通过沉积压电聚合物形成的有源层,在有源层上形成的上电极层,以及分别电连接到下电极层和上电极层的第一和第二连接焊盘。
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公开(公告)号:CN1262470C
公开(公告)日:2006-07-05
申请号:CN03165013.9
申请日:2003-09-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00142 , B81B2201/0257 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H01L41/45
Abstract: 本发明提供一种柔性MEMS换能器的制造方法,包括:在柔性衬底上形成牺牲层;通过PECVD在牺牲层上依次沉积薄膜层、下电极层、有源层和上电极层;对上电极层、有源层、和下电极层依次进行图形化;沉积上保护层以覆盖上电极层、下电极层和有源层;对连接到下电极层和上电极层的上保护层进行图形化,然后沉积连接焊盘层并对连接焊盘层进行图形化以形成连接到下电极层的第一连接焊盘和连接到上电极层的第二连接焊盘;以及对薄膜层进行图形化以露出牺牲层并去除牺牲层。
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公开(公告)号:CN100454352C
公开(公告)日:2009-01-21
申请号:CN200410032113.6
申请日:1999-10-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G08G1/00
CPC classification number: G06K9/00798 , B60Q9/008 , G01S13/931 , G01S2013/9353 , G06K9/4604
Abstract: 一种道路模型化方法。该模型化方法将道路模型化为一系列矩形块相互连接起来的结构,这种模型化结构用下述矩阵方程表示:Pi=[wiliαiβiγi]T,其中,假定车辆位于某一矩形块Pi的底边的中央,该矩形块Pi宽为wi,长为li,Zi轴是车辆的行驶方向,Xi轴垂直于车辆行驶方向,Yi垂直于矩形块Pi,βi和αi是矩形块Pi的Xi和Zi轴分别相对于紧接在该矩形块之前的矩形块P(i-1)的X(i-1)和Z(i-1)轴的偏差角,γi是垂直于道路的Yi轴与垂直于车辆的方向间的偏差角。
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公开(公告)号:CN1530889A
公开(公告)日:2004-09-22
申请号:CN200410032113.6
申请日:1999-10-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G08G1/00
CPC classification number: G06K9/00798 , B60Q9/008 , G01S13/931 , G01S2013/9353 , G06K9/4604
Abstract: 一种道路模型化方法。该模型化方法将道路模型化为一系列矩形块相互连接起来的结构,这种模型化结构用下述矩阵方程表示:Pi=[wiliαiβiγi]T,其中,假定车辆位于某一矩形块Pi的底边的中央,该矩形块Pi宽为wi,长为li,Zi轴是车辆的行驶方向,Xi轴垂直于车辆行驶方向,Yi轴垂直于矩形块Pi,βi和αi是矩形块Pi的Xi和Zi轴分别相对于紧接在该矩形块之前的矩形块P(i-1)的X(i-1)和Z(i-1)轴的偏差角,γi是垂直于道路的Yi轴与垂直于车辆的方向间的偏差角。
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公开(公告)号:CN1517296A
公开(公告)日:2004-08-04
申请号:CN03165014.7
申请日:2003-09-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: H01L41/45 , B81B2201/0257 , B81B2201/032 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81C1/00182 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H04R1/406 , H04R17/02 , H04R2420/07
Abstract: 本发明公开柔性MEMS换能器及其制造方法、以及柔性MEMS无线扩音器。一种柔性无线MEMS扩音器,包括:柔性聚合物材料的衬底,在衬底上通过PECVD形成的柔性MEMS换能器结构,在衬底上印制的天线、用于与外界源通信,在衬底中嵌入的导线和接口电路以便电连接柔性MEMS换能器和天线,电连接到衬底的柔性电池层、用于将电源提供到MEMS换能器,以及电连接到电池层的柔性蓝牙模块层。柔性MEMS换能器包括:柔性衬底,在衬底上沉积的薄膜层,在薄膜层上形成的下电极层,在下电极层上通过沉积压电聚合物形成的有源层,在有源层上形成的上电极层,以及分别电连接到下电极层和上电极层的第一和第二连接焊盘。
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公开(公告)号:CN1517295A
公开(公告)日:2004-08-04
申请号:CN03165013.9
申请日:2003-09-26
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00142 , B81B2201/0257 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H01L41/45
Abstract: 本发明提供一种柔性MEMS换能器的制造方法,包括:在柔性衬底上形成牺牲层;通过PECVD在牺牲层上依次沉积薄膜层、下电极层、有源层和上电极层;对上电极层、有源层、和下电极层依次进行图形化;沉积上保护层以覆盖上电极层、下电极层和有源层;对连接到下电极层和上电极层的上保护层进行图形化,然后沉积连接焊盘层并对连接焊盘层进行图形化以形成连接到下电极层的第一连接焊盘和连接到上电极层的第二连接焊盘;以及对薄膜层进行图形化以露出牺牲层并去除牺牲层。
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