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公开(公告)号：CN1800431A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510092340.2
申请日：2005-08-29
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C23C14/04
Abstract: 一种遮蔽掩模的附着方法，在使遮蔽掩模与垂直配置的掩模框邻接，并施加拉力的状态下，通过在掩模框上焊接而进行附着，预先反映向垂直方向的垂下，防止掩模附着后的图案的变形，可预先确认可否校正定位。该遮蔽掩模的附着方法包括：垂直配置掩模框的步骤；将遮蔽掩模附着于上述掩模框上的步骤。另外，将上述遮蔽掩模附着于上述掩模框上的步骤包括：使上述遮蔽掩模邻接上述掩模框上的步骤；在上述遮蔽掩模上施加外力的步骤；在上述掩模框上结合施加了外力的上述遮蔽掩模的步骤。
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