公开(公告)号：CN102672349B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201110199135.1

申请日：2011-07-12

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 高太永 ,  金振圭 ,  芦省志

IPC: B23K26/14 ,  B23K26/142 ,  B23K26/21

Abstract: 本发明提供了一种在扫描方法的激光焊接过程中顺利地执行保护气体供应和除烟的激光焊接设备。根据本发明示例性实施例的激光焊接设备包括：气体喷射块，将惰性气体喷射到焊接对象的焊接部分；排气块，设置在气体喷射块的上侧，并且排出在焊接期间产生的烟及惰性气体；激光防护玻璃，设置在排气块的上侧；激光头，设置在激光防护玻璃的上侧，并且通过扫描方法将激光束照射到所述焊接部分，其中，气体喷射块包括室、气体进口和喷射孔，室形成在激光束穿过的第一空间的外部周边，气体进口将室连接到外部以使惰性气体流入，喷射孔连接室和第一空间以使惰性气体喷射到焊接部分。

公开(公告)号：CN102672349A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201110199135.1

申请日：2011-07-12

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 高太永 ,  金振圭 ,  芦省志

IPC: B23K26/14 ,  B23K26/20

Abstract: 本发明提供了一种在扫描方法的激光焊接过程中顺利地执行保护气体供应和除烟的激光焊接设备。根据本发明示例性实施例的激光焊接设备包括：气体喷射块，将惰性气体喷射到焊接对象的焊接部分；排气块，设置在气体喷射块的上侧，并且排出在焊接期间产生的烟及惰性气体；激光防护玻璃，设置在排气块的上侧；激光头，设置在激光防护玻璃的上侧，并且通过扫描方法将激光束照射到所述焊接部分，其中，气体喷射块包括室、气体进口和喷射孔，室形成在激光束穿过的第一空间的外部周边，气体进口将室连接到外部以使惰性气体流入，喷射孔连接室和第一空间以使惰性气体喷射到焊接部分。

公开(公告)号：CN1824824A

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN200510137658.8

申请日：2005-12-31

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 康熙哲 ,  金振圭

IPC: C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C14/042 ,  H01L51/0011

Abstract: 本发明提供了一种掩模框，具有图案区域和限定图案区域的掩模边缘的掩模固定在该掩模框上，该掩模框包括：通口，与图案区域对应；基底，与掩模边缘对应。基底设置有在其内形成的排放孔，真空泵与排放孔结合，从而使掩模固定到掩模框而没有损坏形成在掩模的图案区域上的图案。

公开(公告)号：CN1824825A

公开(公告)日：2006-08-30

申请号：CN200610000428.1

申请日：2006-01-05

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 金振圭 ,  韩尚辰 ,  康熙哲 ,  姜有珍 ,  金泰亨

IPC: C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C14/042 ,  H01L51/0011 ,  Y10T29/49867

Abstract: 公开的是一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括要附着到罩板框的附着部分，以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括：将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到罩板片和辅助片；并在罩板片的图案区域上形成图案。这样，当均匀分布的外力被施加到罩板片上时，就会在罩板片上形成预定的图案，因此可以防止罩板片的弯曲或偏离平面，从而形成精确的罩板图案。

公开(公告)号：CN1800970A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200510092324.3

申请日：2005-08-26

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 金振圭 ,  韩尚辰 ,  康熙哲 ,  姜有珍

IPC: G03F1/00 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种遮蔽掩模图案的形成方法，其在施加有拉力的状态下首先焊接在掩模框上，利用激光形成蒸镀图案，由此容易制作大面积的掩模，并且加工步骤及设备简单，能够缩短加工时间。本发明的遮蔽掩模图案的形成方法包括使遮蔽掩模(10)附着在掩模框(20)上的步骤、在所述已附着的遮蔽掩模(10)上形成图案的步骤，另外，使所述遮蔽掩模(10)附着在所述掩模框(20)上的步骤包括使所述遮蔽掩模(10)与所述掩模框(20)邻接的步骤、向所述遮蔽掩模(10)施加外力的步骤、在所述掩模框(20)上接合施加有外力的所述遮蔽掩模(10)的步骤。

公开(公告)号：CN1800431A

公开(公告)日：2006-07-12

申请号：CN200510092340.2

申请日：2005-08-29

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 金振圭 ,  韩尚辰 ,  康熙哲 ,  姜有珍

IPC: C23C14/04

Abstract: 一种遮蔽掩模的附着方法，在使遮蔽掩模与垂直配置的掩模框邻接，并施加拉力的状态下，通过在掩模框上焊接而进行附着，预先反映向垂直方向的垂下，防止掩模附着后的图案的变形，可预先确认可否校正定位。该遮蔽掩模的附着方法包括：垂直配置掩模框的步骤；将遮蔽掩模附着于上述掩模框上的步骤。另外，将上述遮蔽掩模附着于上述掩模框上的步骤包括：使上述遮蔽掩模邻接上述掩模框上的步骤；在上述遮蔽掩模上施加外力的步骤；在上述掩模框上结合施加了外力的上述遮蔽掩模的步骤。