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公开(公告)号：CN1824825A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：CN200610000428.1
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C23C14/04 , C23C16/04 , H01L21/203 , H01L21/205
CPC classification number: C23C14/042 , H01L51/0011 , Y10T29/49867
Abstract: 公开的是一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括要附着到罩板框的附着部分，以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括：将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到罩板片和辅助片；并在罩板片的图案区域上形成图案。这样，当均匀分布的外力被施加到罩板片上时，就会在罩板片上形成预定的图案，因此可以防止罩板片的弯曲或偏离平面，从而形成精确的罩板图案。
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公开(公告)号：CN1800435A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200610000430.9
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: G03F9/7038 , G03F7/70791 , G03F9/7088
Abstract: 一种用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法，其中该装置包括：在基板和罩板的未使用部分中的对准标记，用于在基板与罩板对准时确定对准标记重叠的传感单元，以及用于根据由传感单元所测量和确定的数据而控制对准过程重复进行的控制单元。传感单元可以包括：位于拍摄范围之内以确定对准标记的任何对准误差的照相机。根据本发明的另一实施例，测量基板和罩板间的对准误差来确定该对准误差是否可以接受。当该对准误差不可接受时，重复进行对准基板和罩板的操作，直至对准误差可以接受为止。
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公开(公告)号：CN1800970A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510092324.3
申请日：2005-08-26
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: G03F1/00 , G03F7/00 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种遮蔽掩模图案的形成方法，其在施加有拉力的状态下首先焊接在掩模框上，利用激光形成蒸镀图案，由此容易制作大面积的掩模，并且加工步骤及设备简单，能够缩短加工时间。本发明的遮蔽掩模图案的形成方法包括使遮蔽掩模(10)附着在掩模框(20)上的步骤、在所述已附着的遮蔽掩模(10)上形成图案的步骤，另外，使所述遮蔽掩模(10)附着在所述掩模框(20)上的步骤包括使所述遮蔽掩模(10)与所述掩模框(20)邻接的步骤、向所述遮蔽掩模(10)施加外力的步骤、在所述掩模框(20)上接合施加有外力的所述遮蔽掩模(10)的步骤。
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公开(公告)号：CN1800436A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200610000431.3
申请日：2006-01-05
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：形成的带有连接孔的垂直定位的托盘，以及具有连接臂以与这些连接孔连接并且防止托盘和托盘固定器弯曲的托盘固定器。该托盘包括能够容纳基板的基板框，并且该托盘固定器与驱动轴连接，以将垂直位置的托盘传送到用于汽相淀积的罩板。多个导引轴的一端可靠接触托盘固定器的后侧，以防止该托盘固定器弯曲。该托盘可以具有磁连接部件，并且该托盘固定器可以具有对应于这些连接部件的支撑部件。这些支撑部件能够在由相应凹槽或突起决定的位置与连接部件磁连接，以对准托盘和托盘固定器。
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公开(公告)号：CN1800431A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510092340.2
申请日：2005-08-29
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C23C14/04
Abstract: 一种遮蔽掩模的附着方法，在使遮蔽掩模与垂直配置的掩模框邻接，并施加拉力的状态下，通过在掩模框上焊接而进行附着，预先反映向垂直方向的垂下，防止掩模附着后的图案的变形，可预先确认可否校正定位。该遮蔽掩模的附着方法包括：垂直配置掩模框的步骤；将遮蔽掩模附着于上述掩模框上的步骤。另外，将上述遮蔽掩模附着于上述掩模框上的步骤包括：使上述遮蔽掩模邻接上述掩模框上的步骤；在上述遮蔽掩模上施加外力的步骤；在上述掩模框上结合施加了外力的上述遮蔽掩模的步骤。
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