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公开(公告)号：CN112368641A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201980044700.1
申请日：2019-08-05
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供下述感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物具有良好的图案加工性，且将其于低温进行固化而得到的固化膜具有高耐化学药品性、高弹性、高伸长率特性及与金属(特别是铜)的高密合性。本发明为感光性树脂组合物，其含有：(A)树脂，其为选自由环氧树脂、聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体及聚硅氧烷组成的组中的任1种以上；(B)热产碱剂；及(C)感光剂，该(B)热产碱剂含有胍衍生物或双胍衍生物中的任1种以上，该(C)感光剂含有(c‑1)光产酸剂及/或(c‑2)光自由基聚合引发剂。
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公开(公告)号：CN110419000A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201880017542.6
申请日：2018-02-27
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供能够低温固化，保存稳定性和分辨率优异，能够抑制显影残渣，可以获得硬度高，耐化学品性、基板密合性优异的固化膜的感光性硅氧烷树脂组合物。本发明是一种感光性硅氧烷树脂组合物，其含有：(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体和(D)磷酸衍生物胺盐。
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公开(公告)号：CN110419000B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN201880017542.6
申请日：2018-02-27
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题是提供能够低温固化，保存稳定性和分辨率优异，能够抑制显影残渣，可以获得硬度高，耐化学品性、基板密合性优异的固化膜的感光性硅氧烷树脂组合物。本发明是一种感光性硅氧烷树脂组合物，其含有：(A)聚硅氧烷、(B)光自由基聚合引发剂、(C)多官能单体和(D)磷酸衍生物胺盐。
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公开(公告)号：CN115356873A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210992042.2
申请日：2019-06-26
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G02F1/1335 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/038 , G03F7/004
Abstract: 本发明涉及树脂组合物、遮光膜、遮光膜的制造方法及带隔壁的基板。树脂组合物，其含有：树脂；和有机金属化合物，其含有选自由银、金、铂及钯组成的组中的至少1种金属；和光聚合引发剂或醌二叠氮化合物；和溶剂。提供即使在250℃以下的加热条件下也能形成兼具高反射率和高遮光性的隔壁的树脂组合物。
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公开(公告)号：CN114303099A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202080061896.8
申请日：2020-09-03
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种感光性树脂组合物，其能够得到具有高可靠性及优异的弯曲性、凹凸图案的加工性优异、具有充分的光扩散性的固化膜。为了实现上述目的，本发明的感光性树脂组合物包含(A)硅氧烷树脂、(B)中值粒径为0.2～0.6μm的粒子及(C)萘醌二叠氮化合物，该(A)硅氧烷树脂至少含有合计为20～60摩尔％的由下述通式(1)表示的重复单元。(R1表示碳原子数6～18的芳基、或者全部或一部分氢被取代的碳原子数6～18的芳基)。
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公开(公告)号：CN108291087B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201680062906.3
申请日：2016-10-27
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08L79/08 , C08G65/18 , C08K5/1525 , C08L63/00 , C08L79/04 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/075 , G03F7/20 , G03F7/40
Abstract: 本发明使用如下树脂组合物来提供表面雕刻有曲面状图案的基板的制造方法，所述树脂组合物能够将抗蚀剂图案形成为曲面状，即使在成为高温的高输出功率干法刻蚀处理中也不产生抗蚀剂灼烧、碳化，能够提供具有良好的刻蚀选择比和刻蚀后的除去性的固化膜。本发明为经图案加工的基板的制造方法，所述制造方法包括：在基板上设置包含以下成分的树脂组合物的被膜的工序，所述成分为：(A)选自以下组中的碱溶性树脂，所述组由聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚酰胺酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体、上述树脂中的至少两种以上的共聚物、及上述树脂中的至少一种与其他结构单元的共聚物组成，(B)光产酸剂，以及(C)选自由环氧化合物及氧杂环丁烷化合物组成的组中的至少一种化合物；形成被膜的图案的工序；以被膜的图案作为掩模，利用刻蚀对基板进行图案加工的工序；以及将树脂组合物的被膜除去的工序。
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公开(公告)号：CN117859098A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202280058015.6
申请日：2022-09-26
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 以提供具有高的折射率和透明性、并且在230℃以下的烧成温度下流动性也高、能够形成直径为10μm以上的尺寸的大的微透镜的感光性树脂组合物作为课题。一种感光性树脂组合物，其特征在于，包含：(A)硅氧烷树脂，其含有具有二苯基的有机硅烷单元；(B)金属化合物粒子或复合金属化合物粒子，上述金属化合物粒子为选自钛化合物粒子、锆化合物粒子、锡化合物粒子和铝化合物粒子中的至少1种金属化合物粒子，上述复合金属化合物粒子为选自钛化合物、锆化合物、锡化合物和铝化合物中的至少1种金属化合物与硅化合物的复合金属化合物粒子；(C)感光剂；(D)有机硅烷化合物，其具有稠合多环式芳香族基；(E)有机溶剂。
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公开(公告)号：CN117859097A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202280057284.0
申请日：2022-09-20
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 在形成被图案化了的固化膜时，通过不需要图案掩模的便宜的方法来实现。一种带有固化膜的基板的制造方法，其特征在于，依次具有下述工序：对表面具有凹凸结构的基板设置感光性树脂组合物的涂布膜的工序；使该涂布膜干燥而制成干燥膜的工序；对该干燥膜曝光的工序；使该曝光后的干燥膜表面沿膜厚方向部分地显影的工序；以及将显影后的涂膜加热而制成固化膜的工序，在将对干燥膜曝光的工序中的辐射光的波长300nm～450nm的区域中的光谱辐射照度的合计值设为(A)、通过了干燥膜的辐射光的波长300nm～450nm的区域中的光谱辐射照度的合计值设为(B)时，每1μm干燥膜厚的衰减比率(B)/(A)满足以下关系式(I)。0.001≤(B)/(A)≤0.2 (I)。
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