蚀刻用掩蔽抗蚀剂组合物、使用其的基板的制造方法和发光元件的制造方法

    公开(公告)号:CN108700808B

    公开(公告)日:2024-04-05

    申请号:CN201780015983.8

    申请日:2017-03-17

    Abstract: 蚀刻用掩蔽抗蚀剂组合物,其是含有(A)以通式(1)所示的结构单元作为主成分的聚酰亚胺、和(B)光产酸剂的组合物,其特征在于,聚酰亚胺(A)的酰亚胺基当量为0.0025摩尔/g以上,[化学式1]#imgabs0#(1)在通式(1)中,R1表示碳原子数为2~50的二价的有机基团,R2表示碳原子数为2~50的三价或四价的有机基团,m1为0或1,c1为0或1,当m1=0时,c1=1,当m1=1时,c1=0。可提供蚀刻用掩蔽抗蚀剂组合物,所述蚀刻用掩蔽抗蚀剂组合物即使在形成100℃~300℃的高温下的高功率干法蚀刻处理中也不产生抗蚀剂燃烧、碳化,且即使在低温下进行抗蚀剂固化,也可得到高的蚀刻耐性,因此能够得到面内均匀性高的蓝宝石图案。

    带有固化膜的LED安装基板的制造方法

    公开(公告)号:CN118891741A

    公开(公告)日:2024-11-01

    申请号:CN202380026931.6

    申请日:2023-03-20

    Abstract: 本发明以提供能够对LED安装基板一并实施以被覆将LED隔开的被图案化了的显影后的涂膜(间隔壁)、以及凸块和电极的周围部的方式残留显影后的涂膜,使用感光性法将不需要的部分选择性除去的、生产效率优异的带有固化膜的LED安装基板的制造方法作为目的。能够通过带有固化膜的LED安装基板的制造方法来实现,所述带有固化膜的LED安装基板的制造方法的特征在于,是对包含具有配线电极的基板、形成在上述配线电极上的凸块、且搭载多个安装在上述凸块上的LED元件的LED安装基板,依次进行特定的处理工序的带有固化膜的LED安装基板的制造方法,在将曝光后的干燥膜中的不需要部分显影而除去的工序中,使显影后的膜残存在至少凸块和配线电极的周围部。

    负型感光性着色组合物、固化膜、使用了它们的触摸面板

    公开(公告)号:CN111771163B

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN201980015528.7

    申请日:2019-03-08

    Abstract: 一种负型感光性着色组合物,是含有(A)白色颜料、(B)硅氧烷树脂、(C)光聚合引发剂、(D)光聚合性化合物和(E)有机溶剂的负型感光性着色组合物,上述(B)硅氧烷树脂至少包含:下述通式(1)所示的重复单元和/或下述通式(2)所示的重复单元、以及下述通式(3)所示的重复单元,在上述(B)硅氧烷树脂的全部重复单元中,含有合计40~80摩尔%的下述通式(1)所示的重复单元和下述通式(2)所示的重复单元;在上述通式(1)~(3)中,R1表示氢的全部或一部分被氟取代了的碳原子数1~10的烷基、烯基、芳基或芳基烷基;R2表示单键、‑O‑、‑CH2‑CO‑、‑CO‑或‑O‑CO‑;R3表示碳原子数1~20的1价有机基;R4可以彼此相同也可以不同,分别表示碳原子数1~20的1价有机基。提供一种负型感光性着色组合物,其能够形成即使为厚膜,也为高分辨率,反射率高,耐热性优异的固化膜。

    负型感光性着色组合物、固化膜、使用了它们的触摸面板

    公开(公告)号:CN111771163A

    公开(公告)日:2020-10-13

    申请号:CN201980015528.7

    申请日:2019-03-08

    Abstract: 一种负型感光性着色组合物,是含有(A)白色颜料、(B)硅氧烷树脂、(C)光聚合引发剂、(D)光聚合性化合物和(E)有机溶剂的负型感光性着色组合物,上述(B)硅氧烷树脂至少包含:下述通式(1)所示的重复单元和/或下述通式(2)所示的重复单元、以及下述通式(3)所示的重复单元,在上述(B)硅氧烷树脂的全部重复单元中,含有合计40~80摩尔%的下述通式(1)所示的重复单元和下述通式(2)所示的重复单元;在上述通式(1)~(3)中,R1表示氢的全部或一部分被氟取代了的碳原子数1~10的烷基、烯基、芳基或芳基烷基原;子R数2表1~示单20键的、1‑价O有‑、机‑C基H;2‑RC4可O‑以、‑彼CO此‑相或同‑O也‑可CO以‑;不R同3表,示分碳别表示碳原子数1~20的1价有机基。提供一种负型感光性着色组合物,其能够形成即使为厚膜,也为高分辨率,反射率高,耐热性优异的固化膜。

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