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公开(公告)号：CN107077070A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580052929.1
申请日：2015-09-18
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/075 , C08K3/36 , C08K5/28 , C08L83/06 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/09 , G03F7/40 , H01L21/027 , H01L21/3065
Abstract: 本发明提供可得到能形成高分辨率的图案且耐热性及耐裂纹性优异的固化膜、并且可进行碱显影的感光性树脂组合物，并提供能够将在半导体基板中形成杂质区域等之后为除去组合物的固化膜而所需的工序缩短的方法及使用其的半导体器件的制造方法。本发明的感光性树脂组合物的特征在于，其为含有(A)聚硅氧烷的感光性树脂组合物，所述(A)聚硅氧烷为通式(1)表示的聚硅氧烷，(X)及(Y)由一般式(4)～(6)表示，7.5≤(X)≤75(4)，2.5≤(Y)≤40(5)，1.5×(Y)≤(X)≤3×(Y)(6)。
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公开(公告)号：CN106574163A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580042468.X
申请日：2015-08-05
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C09J179/08 , C08G73/10 , C08K5/544 , C08L79/08 , C08L83/04 , C09J7/00 , C09J11/06 , C09J183/04 , C11D7/50 , H01L21/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供临时粘接用粘合剂、和使用其的半导体器件的制造方法，所述临时粘接用粘合剂的耐热性优异，能够利用1种粘合剂层将半导体电路形成基板与支承基板粘接，即使经过半导体器件等的制造工序、粘合力也不发生变化，并且之后能于室温以温和的条件进行剥离。本发明为临时粘接用粘合剂，其特征在于，其为下述聚酰亚胺共聚物，所述聚酰亚胺共聚物至少具有酸二酐残基和二胺残基，在二胺残基中包含(A1)以通式(1)表示且n为1以上15以下的自然数的聚硅氧烷系二胺的残基、及(B1)以通式(1)表示且n为16以上100以下的自然数的聚硅氧烷系二胺的残基这两者，所述聚酰亚胺共聚物含有40～99.99摩尔％的(A1)的残基，含有0.01～60摩尔％的(B1)的残基。
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公开(公告)号：CN104487516A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380037773.0
申请日：2013-07-16
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C08L83/04 , C09D183/04
CPC classification number: C09D183/04 , C08G77/80
Abstract: 本发明的课题是提供图案固化被膜的密合性印刷图案的转印性优异的适合于墨液用的聚硅氧烷组合物、由该墨液组合物形成的固化被膜以及电子器件或光学器件。一种适合于墨液的硅氧烷组合物，其特征在于，包含：(A)通过使包含选自通式(1)～(3)中的1种以上硅烷化合物的硅烷化合物水解和缩合而得的聚硅氧烷，和(b)溶剂。R02-nR1nSi(OR9)2(1)(R0表示氢、烷基、链烯基、苯基或它们的取代体。R1表示多环式芳香族基或其取代体。R9表示氢、甲基、乙基、丙基或丁基，可以相同也可以不同。n为1或2。在n为2的情况下，多个R1可以相同也可以不同。)R2Si(OR10)3(2)(R2表示多环式芳香族基或其取代体。R10表示氢、甲基、乙基、丙基或丁基，可以相同也可以不同。)(R11O)mR43-mSi-R3-Si(OR12)lR53-l(3)(R3表示2价的多环式芳香族基或其取代体。R4和R5表示氢、烷基、链烯基、芳基或它们的取代体，分别可以相同也可以不同。R11和R12表示氢、甲基、乙基、丙基或丁基，分别可以相同也可以不同。m和l各自独立地为1～3的整数。)。
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公开(公告)号：CN104428713A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201380036812.5
申请日：2013-06-06
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F290/12 , G03F7/004 , G03F7/027 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0388 , C08F290/126 , G03F7/0007 , G03F7/027 , G03F7/038 , G03F7/0755 , G06F2203/04103 , C08F222/1006
Abstract: 本发明的目的是提供负型感光性树脂组合物，其不损害高硬度、高透明、高耐热和高耐药品性这样的特性、保存稳定性极其优异、可进行碱显影。本发明提供感光性树脂组合物，其包含在共聚物具有的一部分酸基上加成了含有环氧基的不饱和化合物(C)的含有不饱和基的树脂(D)，所述共聚物是使(甲基)丙烯酸酯(A)、与含有不饱和基和酸的化合物(B)共聚了的共聚物、具有特定结构的(甲基)丙烯酸系化合物(E)、具有选自氨基、酰胺基、脲基、酮亚胺和异氰酸酯基中的取代基的硅烷化合物(G)、和光聚合引发剂(F)。
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公开(公告)号：CN104011596A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201280064662.4
申请日：2012-12-21
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: H01L21/426 , G03F7/0045 , G03F7/0047 , G03F7/022 , G03F7/0233 , G03F7/027 , G03F7/032 , G03F7/038 , G03F7/0388 , G03F7/0757
Abstract: 本发明提供了一种感光性树脂组合物，是显示正型或负型感光性、能够作为离子注入工序中的掩模使用的感光性树脂组合物，作为树脂含有(A)聚硅氧烷。本发明的感光性树脂组合物具有高耐热性、能够控制图案形状，并且具有优异的离子注入掩模性能，适合用于低成本的高温离子注入工艺。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102918460A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201180028270.8
申请日：2011-06-02
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/075 , C08K3/28 , C08L83/00 , G02F1/1333 , G02F1/1368 , G03F7/004 , G03F7/023
CPC classification number: G03F7/0233 , C08G77/02 , C08G77/14 , C08G77/80 , C09D183/06 , G03F7/0045 , G03F7/0755 , G03F7/0757 , C08L83/00
Abstract: 感光性硅氧烷组合物，其含有（a）通过使通式（1）所示的有机硅烷的1种以上反应而合成的聚硅氧烷、（b）重氮醌化合物、（c）溶剂和（d）通式（2）所示的硅酸酯化合物。（式（1）中，R1表示氢、碳原子数为1～10的烷基、碳原子数为2～10的烯基、碳原子数为6～15的芳基的任一者，多个R1可以分别相同或不同，R2表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基的任一者，多个R2可以分别相同或不同，n表示0～3的整数。）（式（2）中，R3～R6分别独立地表示氢、碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为2～6的酰基、碳原子数为6～15的芳基的任一者，ｐ表示2～10的整数。）可以提供能够得到具有高耐热性、高透明性的特性、且耐药品性良好的固化膜的感光性硅氧烷组合物。。
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公开(公告)号：CN1782878B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200510128535.8
申请日：2005-11-28
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L29/786 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0757 , C08K5/42 , G03F7/022 , C08L83/04
Abstract: 正型感光性硅氧烷组合物、由其形成的固化膜、以及具备固化膜的元件；本发明提供高感光度的正型感光性硅氧烷组合物，以用于形成具备高耐热性、高透明性、低介电常数性的特性的、TFT衬底用平坦化膜、层间绝缘膜、或者光波导路的芯或者包层材料。其是含有硅氧烷聚合物、醌二叠氮化合物、溶剂的正型感光性硅氧烷组合物，其中组合物的固化膜在波长400nm下平均3μm膜厚的透光率为95％以上。
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公开(公告)号：CN110095941B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN201910328781.X
申请日：2012-12-21
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供了一种感光性树脂组合物，是显示正型或负型感光性、能够作为离子注入工序中的掩模使用的感光性树脂组合物，作为树脂含有(A)聚硅氧烷。本发明的感光性树脂组合物具有高耐热性、能够控制图案形状，并且具有优异的离子注入掩模性能，适合用于低成本的高温离子注入工艺。
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公开(公告)号：CN105122137B
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201480018021.4
申请日：2014-03-05
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/038 , C08F290/00 , G03F7/004 , G03F7/075 , G06F3/041
Abstract: 本发明的目的在于提供一种兼具能够获得高硬度，透明性、耐湿热性、密合性和耐化学性优异的固化膜，并且涂液的保存稳定性良好，保存中密合性和耐化学性不降低这样的多种性能的能够碱性显影的感光性树脂组合物，提供一种感光性树脂组合物，是含有(A)碱溶性树脂、(D)金属螯合物和(E)硅烷化合物的感光性树脂组合物，上述(A)碱溶性树脂为特定范围的双键当量的碱溶性树脂，上述(D)金属螯合物为特定结构的化合物，上述(E)硅烷化合物为特定结构的四官能硅烷或硅烷低聚物。
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公开(公告)号：CN106574163B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201580042468.X
申请日：2015-08-05
Applicant: 东丽株式会社
IPC: C09J179/08 , C08G73/10 , C08K5/544 , C08L79/08 , C08L83/04 , C09J7/30 , C09J11/06 , C09J183/04 , C11D7/50 , H01L21/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供临时粘接用粘合剂、和使用其的半导体器件的制造方法，所述临时粘接用粘合剂的耐热性优异，能够利用1种粘合剂层将半导体电路形成基板与支承基板粘接，即使经过半导体器件等的制造工序、粘合力也不发生变化，并且之后能于室温以温和的条件进行剥离。本发明为临时粘接用粘合剂，其特征在于，其为下述聚酰亚胺共聚物，所述聚酰亚胺共聚物至少具有酸二酐残基和二胺残基，在二胺残基中包含(A1)以通式(1)表示且n为1以上15以下的自然数的聚硅氧烷系二胺的残基、及(B1)以通式(1)表示且n为16以上100以下的自然数的聚硅氧烷系二胺的残基这两者，所述聚酰亚胺共聚物含有40～99.99摩尔％的(A1)的残基，含有0.01～60摩尔％的(B1)的残基。
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