公开(公告)号：CN102986001A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201080067951.0

申请日：2010-09-28

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 松田僚三 ,  鸣海惠司 ,  田中一也 ,  筱山一城 ,  松元峻士

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/268

CPC classification number: B23K26/00 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/083 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  H01L21/268 ,  H01L33/0079

Abstract: 能够不使在基板上形成的材料层中产生破裂而从该基板将该材料层剥离。为了在基板（1）与上述材料层（2）之间的界面处使上述材料层从上述基板剥离，对于在基板（1）上形成材料层（2）而得到的工件（3），透过基板（1），以一边不断改变脉冲激光L对工件（3）照射的照射区域、一边使上述工件（3）中邻接的各照射区域相重叠的方式进行照射。脉冲激光（L）向上述工件（3）照射的照射区域被设定为，在将该照射区域的面积设为S（mm2）、将照射区域的周长设为L（mm）时，满足S／L≦0．125的关系。由此，能够不使在基板上形成的材料层中产生破裂地将材料层从基板可靠地剥离。

公开(公告)号：CN101551078A

公开(公告)日：2009-10-07

申请号：CN200910130153.7

申请日：2009-03-27

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 野本宪太郎 ,  松田僚三

IPC: F21S8/00 ,  F21V19/00 ,  F21V5/02 ,  G01N21/956 ,  F21Y101/02 ,  F21Y105/00

Abstract: 本发明提供在拍摄的区域的任意点上光的入射的条件相同的照明单元、及可进行凹坑的优劣判定的图案检查装置。将多个LED(2)排列在LED支撑构件(3)上，照明光从LED(2)以平行的状态射出，以规定的入射角度θ入射于摄像区域(R)地构成各面光源(a～h)。排列LED(2)的区域的大小比摄像区域(R)的大小大。由8个面光源(a～h)，照明光以平行状态射出，以规定角度θ入射在摄像区域(R)的全体。因此，在摄像区域(R)的BAC上的任意点上，相同角度的照明光以相同照射强度从全方向入射，无论在摄像区域的哪一点上，其条件都成为相同。所以，在进行检查的全部区域，根据凹坑的光亮(辉度)的不同可判定优劣。

公开(公告)号：CN101311706A

公开(公告)日：2008-11-26

申请号：CN200810109189.2

申请日：2008-05-23

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 野本宪太郎 ,  松田僚三 ,  林宏树

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明提供布线图形的检查装置以及方法，能够区别产生于图形的表面的凹坑与突起，并能够在仅检测出凹坑的同时，也进行线宽的测定。作为解决问题的手段，本发明是从TAB带的被形成有图形的一侧，通过反射照明单元(12)，对于检查区域以倾斜射入的方式来照射照明光，同时，从被形成有图形的一侧的相反侧，通过透射照明单元(13)来照射照明光，并通过摄像单元(11)对图形进行摄像。若在图形的表面存在有凹坑，则来自反射照明单元(12)的反射光射入摄像单元(11)，并将该部分拍摄为明亮。又，通过来自透射照明单元(13)的照明光，被形成有图形的部分被拍摄为灰暗，而未被形成有图形的部分被拍摄为明亮。由此，通过使用反射照明与透射照明进行摄像，能够在仅将凹坑检测出来的同时，也进行线宽的测定。