公开(公告)号：CN102986001A

公开(公告)日：2013-03-20

申请号：CN201080067951.0

申请日：2010-09-28

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 松田僚三 ,  鸣海惠司 ,  田中一也 ,  筱山一城 ,  松元峻士

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/268

CPC classification number: B23K26/00 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/083 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  H01L21/268 ,  H01L33/0079

Abstract: 能够不使在基板上形成的材料层中产生破裂而从该基板将该材料层剥离。为了在基板（1）与上述材料层（2）之间的界面处使上述材料层从上述基板剥离，对于在基板（1）上形成材料层（2）而得到的工件（3），透过基板（1），以一边不断改变脉冲激光L对工件（3）照射的照射区域、一边使上述工件（3）中邻接的各照射区域相重叠的方式进行照射。脉冲激光（L）向上述工件（3）照射的照射区域被设定为，在将该照射区域的面积设为S（mm2）、将照射区域的周长设为L（mm）时，满足S／L≦0．125的关系。由此，能够不使在基板上形成的材料层中产生破裂地将材料层从基板可靠地剥离。

公开(公告)号：CN102986001B

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201080067951.0

申请日：2010-09-28

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 松田僚三 ,  鸣海惠司 ,  田中一也 ,  筱山一城 ,  松元峻士

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/268

CPC classification number: B23K26/00 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0732 ,  B23K26/083 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  H01L21/268 ,  H01L33/0079

Abstract: 能够不使在基板上形成的材料层中产生破裂而从该基板将该材料层剥离。为了在基板（1）与上述材料层（2）之间的界面处使上述材料层从上述基板剥离，对于在基板（1）上形成材料层（2）而得到的工件（3），透过基板（1），以一边不断改变脉冲激光L对工件（3）照射的照射区域、一边使上述工件（3）中邻接的各照射区域相重叠的方式进行照射。脉冲激光（L）向上述工件（3）照射的照射区域被设定为，在将该照射区域的面积设为S（mm2）、将照射区域的周长设为L（mm）时，满足S／L≦0．125的关系。由此，能够不使在基板上形成的材料层中产生破裂地将材料层从基板可靠地剥离。

公开(公告)号：CN101325145A

公开(公告)日：2008-12-17

申请号：CN200810130241.2

申请日：2008-06-16

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 辻宏二 ,  田中一也

IPC: H01J61/52 ,  H01J61/30 ,  H01J61/36

Abstract: 本发明提供一种紫外线放电灯，通过挡风部件防止管端部的过冷却，并且能够切实地冷却密封部，并且密封部的热容量不会比以往大，不是将挡风部件固定在密封部，而是固定在基座上，将管端部保温，并且在挡风部件的与密封部相当的位置上，在冷却风进来的方向和冷却风被排出的方向上设置贯通孔，确保用于冷却密封部的冷却风的通风路径。