公开(公告)号：CN117594478A

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202310928798.5

申请日：2023-07-27

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 清水昭宏 ,  吉原启太 ,  竹元史敏 ,  山森贤治

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种即使在使腔室内的臭氧浓度降低而进行了工件的处理的情况下，也能够稳定且均质地进行处理的光处理装置。具备：搬送机构，搬送工件，具有多个搬送辊；主腔室，具有第一搬入口和第一搬出口；分隔部件，在主腔室内，在与工件的搬送方向和搬送辊的旋转轴方向正交的方向上，将多个搬送辊之间的至少一部分划分为处理空间和滞留空间；紫外光源，配置于主腔室的处理空间内，朝向由搬送机构搬送的工件的一面，射出主要发光波长为200nm以下的紫外光；气体导入口，向主腔室内导入工艺气体；以及搬入副腔室，具有第二搬入口和第二搬出口，第二搬出口与第一搬入口连通，搬送辊的至少一部分位于比分隔部件靠近处理空间侧的位置。

公开(公告)号：CN102446695B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201110305660.7

申请日：2011-09-29

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 有本智良 ,  池内满 ,  清水昭宏

IPC: H01J61/073

CPC classification number: H01J61/0735 ,  H01J61/0732 ,  H01J61/86

Abstract: 本发明提供一种短弧型放电灯，在发光管的内部，阴极与阳极相对配置，上述阴极由以钨为主成分的主体部和接合在该主体部的前端的发射极部构成，通过达成阴极前端的内部含有的发射极物质的有效利用，防止阴极表面的发射极物质的枯竭，减少发射极材料的使用量。而且通过充分活用发射极物质来补充，提供一种可长时间维持电子放射功能，达成灯闪烁寿命长期化的构造。在上述阴极的发射极部的前端面形成有条纹状的钨碳化物。

公开(公告)号：CN103493174B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201280011874.6

申请日：2012-02-22

Applicant: 优志旺电机株式会社

Inventor： 清水昭宏 ,  池内满 ,  有本智良

IPC: H01J61/073

CPC classification number: H01J61/86 ,  H01J61/0735

Abstract: 一种短弧型放电灯，在发光管的内部阴极和阳极相对配置，所述阴极由以钨构成的主体部、和与该主体部的前端接合的发射极部构成，通过实现阴极主体部的收缩随点灯时间的经过而降低，来减小阴极亮点的位置变化，并实现抑制灯的照度降低。所述阴极的主体部中的空孔率比发射极部中的空孔率小。