公开(公告)号：CN104880908B

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：CN201510088181.2

申请日：2015-02-26

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山下和贵 ,  井上裕康 ,  三木雅之 ,  河西裕

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G02F1/1335 ,  H01L27/32

Abstract: 一种感光性树脂组合物，在形成有电极的基板上形成包含所述感光性树脂组合物的薄膜，接着以使所述电极的表面露出的方式通过光刻法在所述薄膜形成开口，形成开口后的所述电极的表面自由能的极性分量的值为15mN/m以上。

公开(公告)号：CN106030407A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201480076369.9

申请日：2014-06-06

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 河西裕 ,  井上裕康 ,  山下和贵

IPC: G03F7/033 ,  G03F7/031

Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物，其含有(A)、(B)、(C)及(D)，且(A)的含量相对于(A)与(C)的合计含量为45质量％以上80质量％以下。(A)为含有源自具有烯属不饱和键的芳香族羧酸的结构单元、源自具有碳数2～4的环状醚结构的不饱和化合物的结构单元，且不具有含碳数4～6的全氟烷基的结构单元的聚合物、(B)含有具有碳数4～6的全氟烷基的结构单元的聚合物、(C)聚合性化合物、(D)聚合引发剂。

公开(公告)号：CN105992974B

公开(公告)日：2020-03-13

申请号：CN201480075564.X

申请日：2014-06-06

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 河西裕 ,  井上裕康 ,  山下和贵

IPC: G03F7/033 ,  G03F7/031

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有(A)、(B)、(C)及(D)，其中，(A)为具有具酚性羟基的结构单元，且不具有含碳数4～6的全氟烷基的结构单元的聚合物，(B)为含有含碳数4～6的全氟烷基的结构单元的聚合物，(C)为聚合性化合物，(D)为聚合引发剂。

公开(公告)号：CN106030407B

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201480076369.9

申请日：2014-06-06

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 河西裕 ,  井上裕康 ,  山下和贵

IPC: G03F7/033 ,  G03F7/031

Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物，其含有(A)、(B)、(C)及(D)，且(A)的含量相对于(A)与(C)的合计含量为45质量％以上80质量％以下。(A)为含有源自具有烯属不饱和键的芳香族羧酸的结构单元、源自具有碳数2～4的环状醚结构的不饱和化合物的结构单元，且不具有含碳数4～6的全氟烷基的结构单元的聚合物、(B)含有具有碳数4～6的全氟烷基的结构单元的聚合物、(C)聚合性化合物、(D)聚合引发剂。

公开(公告)号：CN106444283A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201610622201.4

申请日：2016-08-01

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 河西裕 ,  山下和贵

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物能够在玻璃上稳定地形成图案。一种感光性树脂组合物，含有成分(A)、成分(B)、成分(C)、成分(D)和成分(E)，成分(A)的含量相对于成分(A)与成分(C)的合计含量为45质量％以上且80质量％以下。(A)包含来自选自具有烯属不饱和键的芳香族羧酸和具有烯属不饱和键的芳香族羧酸酐中的至少一种化合物的构成单元、和来自具有碳原子数2～4的环状醚结构的不饱和化合物的构成单元的共聚物；(B)包含具有碳原子数4～6的全氟烷基的构成单元的聚合物；(C)聚合性化合物；(D)聚合引发剂；(E)1个分子中含有2个以上环氧乙基的含硅化合物。

公开(公告)号：CN102049578A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN201010539266.5

申请日：2010-09-21

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 山下和贵 ,  熊谷俊昭

IPC: B23H5/00 ,  B23H7/02

Abstract: 本发明涉及包含Cu-Ga合金的溅射靶的制造方法。本发明的一种方法，是包含Cu-Ga合金的溅射靶的制造方法，通过电火花线加工，将Cu-Ga合金锭切断成想得到的溅射靶的厚度，对得到的Cu-Ga合金切断片的面中的至少成为溅射面的平面进行粗研磨，通过电火花线加工，将得到的粗研磨后的切断片切断，加工成溅射靶的形状，接着，将溅射靶形状的切断片的成为溅射面的平面进研磨至期望的表面平滑度。