公开(公告)号：CN101644895A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200910160590.3

申请日：2009-08-04

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 嶋田雅彦 ,  桥本和彦 ,  山口训史 ,  金淳信 ,  高田佳幸 ,  平冈崇志

IPC: G03F7/039

CPC classification number: G03F7/0397 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111

Abstract: 本发明提供了一种化学增幅正性抗蚀剂组合物，其包含：包含由结构式(I)表示的结构单元的树脂，其中，R1代表氢原子、卤素原子、C1-C4烷基或C1-C4全氟化烷基；Z代表单键或-(CH2)k-CO-X4-，k代表1至4的整数；X1、X2、X3和X4各自独立地代表氧原子或硫原子；m代表1至3的整数；而n代表0至3的整数；以及产酸剂。