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公开(公告)号：CN102067041A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980122599.3
申请日：2009-06-10
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0035 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/40
Abstract: 本发明的目的在于提供一种抗蚀剂处理方法，在双图案法等多图案法中，以极其微细且精度良好的方式形成由第一抗蚀剂图案形成用的抗蚀剂组合物得到的图案。本发明是一种抗蚀剂处理方法，(1)将含有树脂(A)、光产酸剂(B)及交联剂(C)的第一抗蚀剂组合物涂布在基体上并干燥，得到第一抗蚀剂膜，所述树脂(A)具有对酸不稳定的基团，不溶或难溶于碱水溶液，并且与酸作用能溶解于碱水溶液，再将第一抗蚀剂膜进行预烘烤、曝光处理、曝光后烘烤、显影，将第一抗蚀剂图案在比所述第一抗蚀剂组合物的玻璃化温度低的温度下保持规定时间，然后，在所述玻璃化温度以上的温度下保持规定时间进行硬烘烤，在其上涂布第二抗蚀剂组合物并干燥，得到第二抗蚀剂膜，再进行预烘烤，曝光处理，曝光后烘烤，显影。
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公开(公告)号：CN102890412A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251269.8
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、Rb1、Rb2、Lb1、环Wb1、Rb3、Rb4、m和Z1+如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN101638374A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910165057.6
申请日：2009-07-24
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/70 , C07D309/12 , C07C303/28 , C08F222/24 , C08F220/18 , C08F122/24 , G03F7/004
Abstract: 一种由结构式(I)表示的肟类化合物，其中，Y代表未被取代的或被取代的n价C6-C14芳烃基，n代表1至6的整数，R1代表C1-C30脂肪烃基等，R2代表直链或支链C1-C20脂肪烃基等，W代表-CO-O-等，Q1和Q2各自独立地代表氟原子等，Z代表C1-C20卤代脂肪烃基等。本文还公开了包含该化合物的抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN101930178A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010212624.1
申请日：2010-06-22
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/20 , C08F2220/303 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供一种CD均匀性及聚焦缘优异的光致抗蚀剂组合物。本发明的化学放大型光致抗蚀剂组合物含有树脂(A)及酸生成剂(B)，作为树脂(A)的一部分或全部，含有至少使(a1)利用酸的作用而变得碱可溶并且具有C5-20脂环式烃基的(甲基)丙烯酸系单体、(a2)具有含羟基的金刚烷基的(甲基)丙烯酸系单体、以及(a3)具有内酯环的(甲基)丙烯酸系单体共聚而成的重均分子量为2500以上5000以下的共聚物(A1)，共聚物(A1)的含量相对于树脂(A)100质量份为50质量份以上。
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公开(公告)号：CN101638388A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910164949.4
申请日：2009-07-27
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07D221/06 , C07D217/24 , C07D207/404 , C07D209/48 , C07D209/94 , C07D211/88 , C07D221/04 , C08G73/10 , G03F7/004
CPC classification number: C07D221/04 , C07D207/46 , C07D209/48 , C07D209/76 , C07D217/22
Abstract: 一种由结构式(I)表示的二酰亚胺类化合物，其中，R 1 代表C1-C20脂肪烃基等；W 1 代表-CO-O-等，Q 1 和Q 2 各自独立地代表氟原子等；并且A代表由结构式(I-1)表示的基团，其中，A 1 代表-CH 2 -CH 2 -等，本发明还公开了含有该化合物的化学增幅抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN102023482A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010283695.0
申请日：2010-09-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0397 , G03F7/0045 , G03F7/0046
Abstract: 本发明提供一种光刻胶组合物，包含产酸剂和树脂，所述树脂含有衍生自式(I)表示的单体的结构单元：其中R1表示氢原子等，R2表示氢原子或C1-C4烷基，A1表示单键等，B1表示：式(1a)表示的基团：其中R3、R4和R5各自独立地表示C1-C16脂肪族烃基，并且R4和R5可以相互键合以与键合R4和R5的碳原子一起形成C3-C18环，具有内酯结构的C4-C20饱和环状基团，或者具有至少一个羟基的C5-C20饱和环烃基。
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公开(公告)号：CN102890416A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251309.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包括由式(I)表示的结构单元的树脂，和酸生成剂，其中R1、A1、R2、Rb1、Rb2、Lb1、环Wb1、Rb3、Rb4、m和Z1+如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN102890413A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251270.0
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包括由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、R2、Q1和Q2、L1、环W、Rf1和Rf2、n和Z+如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN102890409A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210250739.9
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法。所述抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和由式(II)表示的酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、Q1、Q2、L1、环W、Rf1和Rf2、n和Z+如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN102043338A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010530371.2
申请日：2010-10-20
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004 , C07C309/17 , C07C211/64 , C07C229/38 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: C07C211/63 , C07C211/64 , C07C215/40 , C07C215/66 , C07C215/90 , C07C217/52 , C07C217/58 , C07C225/16 , C07C229/14 , C07C229/38 , C07C255/58 , C07C309/10 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C311/16 , C07C2601/04 , C07C2601/08 , C07C2601/14 , C07C2601/18 , C07C2602/02 , C07C2602/20 , C07C2602/24 , C07C2602/28 , C07C2602/42 , C07C2602/44 , C07C2603/18 , C07C2603/24 , C07C2603/66 , C07C2603/68 , C07C2603/74 , C07C2603/90 , C07D307/00 , C07D307/32 , C07D307/33 , C07D309/30 , C07D313/04 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供了一种光致抗蚀剂组合物，其包含：通过辐射能够产生酸和碱的化合物；一种具有酸不稳定性基团且不溶于或微溶于碱性水溶液的树脂，该树脂在酸的作用下变得可溶于碱性水溶液；以及一种产酸剂。
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